http://warm-ir-heate-source.com/uk/tags/%D0%BD%D0%B0%D0%BF%D1%80%D1%83%D0%B3%D0%B0/ Recent content in Напруга on Primary Warm IR Heat Source Hugo uk Sat, 06 Jun 2026 00:53:09 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/uk/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ Sat, 06 Jun 2026 00:53:09 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/uk/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ <p><img src="http://warm-ir-heate-source.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Регулятор напруги для fab IR"></p> <p>На виробничій ділянці ефективність запікання фоторезисту вимірюється нанометрами та градусами. Зсув на 0,5°C під час м’якого або твердого запікання може змінити критичний розмір, порушити контроль ширини лінії і призвести до браку всієї партії. ІЧ-нагрівальний блок у вашому треку або коатері чутливий до коливань напруги — вихід лампи, спектральна стабільність і теплове встановлення безпосередньо залежать від живлення.</p> <p><strong>Що має значення з технічної точки зору</strong><br> Ми розробили регулятор напруги для ІЧ-випромінювача, щоб утримувати потужність лампи в жорстких допусках і таким чином зберігати тепловий бюджет для кожного проходу Wafer. При коливаннях мережі регулятор підтримує стабільність виходу ±0,1%, що дозволяє досягти температурної однорідності на рівні ±0,1°C по всій поверхні запікальної пластини. Конструкція відповідає вимогам чистої кімнати класу 1–100: герметичний корпус і матеріали з низьким виділенням газів забезпечують відсутність утворення часток під час експлуатації. Повторюваність забезпечується системою зворотного зв’язку і відтворюваним профілем нагрівання з витримкою, завдяки чому кожен цикл м’якого і твердого запікання відтворюється однаково незалежно від партії.</p>