http://warm-ir-heate-source.com/uk/tags/%D0%B0%D0%B2%D1%82%D0%BE%D0%BC%D0%B0%D1%82%D0%B8%D0%B7%D0%BE%D0%B2%D0%B0%D0%BD%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Автоматизований on Primary Warm IR Heat Source Hugo uk Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/uk/posts/automated-wafer-drying-heater/ Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/uk/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heate-source.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Автоматизований нагрівач для сушіння пластин"></p> <p>Цикл віджиму припиняється, а пластина все ще волога. Стандартний нагрівач занадто довго виходить на стабільний режим, і температура на чаку коливається по поверхні. Ви миттєво бачите наслідки — залишки, зсув малюнка та зростання кількості браку. На лінії сушка та відпікання — це не просто простої. Це керований тепловий процес. Якщо тепло нестабільне, профіль фоторезисту змінюється, контроль CD загострюється, і частинки з’являються там, де їх бути не повинно. Автоматизований нагрівач для сушки пластин усуває цю змінність у процесі.</p>