Wafer on Primary Warm IR Heat Source

Wafer için hassas IR sensörü

Wed, 29 Jul 2026 03:26:25 +0800

Fabrikada doğru termal haritalama yapmak
Eğer hâlâ yonga üretiminde manuel örnekleme yöntemlerine bağımlıysanız, adeta kör olarak hareket ediyorsunuz demektir. Gerçek zamanlı olarak neler olduğunu görmeniz gerekiyor. İşte bu noktada yüksek hassasiyetli Kızılötesi sensörler devreye giriyor. Bunlar sayesinde yongaya dokunmadan yüzey sıcaklıklarını ölçebiliyoruz.

Bunu yapmanın tek yolu budur. Yüksek sıcaklıkta yongaya dokunmaya çalışırsanız, kirlenme veya mekanik zararlara yol açarsınız. Kimse bunu istemez.

Fizikle ilgili zorluklar
Standart termokupller, 300 mm’lik yongalar için uygun değildir. Çünkü çok yavaştırlar ve işleri daha da zorlaştırırlar.

Wafer ısıtma için güvenlik mesafesi

Sat, 25 Jul 2026 02:24:05 +0800

Wafer Isıtma Sürecinde Ortaya Çıkan İkincil Kirlenme Sorunlarını Önleme
Yüksek kapasiteli üretim yapılırken, arızalanan kızılötesi lambalar büyük bir sorun teşkil eder. Ancak mesele sadece üretimin durmasıyla sınırlı değildir. Gerçek tehlike, kuvars tüpünün patlamasıyla ortaya çıkar. Aniden cam parçaları ve kimyasal maddeler waflerinizin üzerine düşer. Bu durum ikincil kirlenmeye yol açar ve bir parti ürünü saniyeler içinde mahvedebilir. Biz de bu tür durumların yaşanmaması için ısıtma sistemlerimizi özel olarak tasarlıyoruz.

İdeal Mesafe ve Isı Seviyesi
Isı yoğunluğu ile güvenlik arasında her zaman bir denge kurmak gerekiyor. Yüksek ısı elde etmek için lambanın waferin yakınında olması gerekir; ancak lamba çok yakın olursa termal genleşme nedeniyle tüp parçalarının waferlere temas etmesi mümkün olur. Biz bunu tahmin etmiyoruz; wattaj ve tüp çapına göre güvenli bir mesafe hesaplıyoruz ki böylece her zaman güvenli bir bölge olsun.

Enerji verimli yonga ısıtıcısı

Wed, 22 Jul 2026 02:05:52 +0800

Watt’larınızı Boşa Harcamayın: Altın Kaplamalı Yansıtıcıların Neden Önemli Olduğu
Yarı iletken teknolojisinde güç kaybı, kötü bir tasarımın sonucudur. Bir wafer ısıtıcısı kullandığınızda, o wafer’e ulaşan her watt’ın faydalı olmasını istersiniz. İşte bu yüzden altın kaplamalar kullanılır.

Neden Altın?
Altının önemi, kızılötesi ışığı nasıl ele aldığından kaynaklanır. Çoğu malzeme kızılötesi ışığı emer veya saçar; ancak altın bu ışığı geri yansıtır. Burada sadece havayı ısıtmıyoruz; aslında fotonları yönlendiriyoruz. Kısa dalga boyundaki tüm ışığı hedefe doğru yansıtarak, dar ve odaklı bir ısı alanı oluşturuyoruz. En iyi yanı ise, hedef sıcaklığına ulaşmak için yüksek güç kullanmanıza gerek kalmamasıdır.

Wafer kurutma lambası için reflektör

Mon, 20 Jul 2026 08:51:37 +0800

Wafer kurutma sisteminizin fırına dönüşmesini engelleyin
Eğer waferleri kurutmak için yüksek güçlü IR lambaları kullanıyorsanız, bu durumun ne kadar zor olduğunu biliyorsunuzdur. Isı, istediğiniz yere gitmez. Sağlam bir yansıtıcı olmadan, bu IR radyasyonu her yöne saçılır. Böylece pahalı cihazınızın iç kısmı adeta devasa bir ısı kaynağı haline gelir. Cihazın duvarları o kadar ısınır ki insanları yakabilir; hassas elektronik parçalar da termal etkiler yüzünden bozulmaya başlar. Bu durum oldukça karmaşıktır.

Isının doğru yere gitmesini sağlama
Çözüm oldukça basit: İnterferometrik yansıtıcılar kullanarak bu IR enerjisini belirli bir yöne yönlendiririz. Bunu, sadece ampülün tüm odayı aydınlatmasını engelleyip ışığı odaklamak gibi düşünebilirsiniz. Isının cihazın içine sızmasını engelleyerek, yansıtıcılar o fotonları doğrudan waferin üzerine yönlendirir. Böylece mükemmel bir kuruma işlemi için gerekli olan yüzey sıcaklığı elde edilir; hava ve metal yapılar ise soğuk kalır.

Otomatik tabaka kurutma ısıtıcısı

Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800

Spin-dry döngüsü kapanır ve wafer hâlâ ıslaktır. Standart bir ısıtıcı yerleşmek için çok uzun sürer ve chuck sıcaklığı yüzey boyunca dalgalanır. Sonuç hemen görülür—kalıntı, desen kayması ve artan hurda oranı. Hat üzerinde, kurutma ve pişirme adımı duruş süresi değildir. Kontrollü bir termal harekettir. Isı sabit değilse, fotoresist profili kayar, CD kontrolü sıkılaşır ve parçacıklar istenmeyen noktalarda ortaya çıkar. Otomatik wafer kurutma ısıtıcısı, bu değişkenliği süreçten çıkarmamızı sağlar.

Kaputun altındaki önemli noktalar

Bu birimi, proses penceresi boyunca wafer seviyesinde ±0.1°C içinde tutan, doğrudan ve hızlı tepki veren bir ısıtma platformu etrafında tasarladık. Kalbi, düşük termal kütleye sahip bir eleman ile yüksek hassasiyetli sensörler ve kapalı döngü kontrolün eşleşmesidir. Set noktaları tarifeyi saniyeler içinde takip eder, dakikalar değil; böylece aşım olmaz. Yumuşak pişirme ve sert pişirme profillerini ±0.2°C tekrar edilebilirlik sınırları içinde çalıştırır.