Wafer Isıtma Sürecinde Ortaya Çıkan İkincil Kirlenme Sorunlarını Önleme
Yüksek kapasiteli üretim yapılırken, arızalanan kızılötesi lambalar büyük bir sorun teşkil eder. Ancak mesele sadece üretimin durmasıyla sınırlı değildir. Gerçek tehlike, kuvars tüpünün patlamasıyla ortaya çıkar. Aniden cam parçaları ve kimyasal maddeler waflerinizin üzerine düşer. Bu durum ikincil kirlenmeye yol açar ve bir parti ürünü saniyeler içinde mahvedebilir. Biz de bu tür durumların yaşanmaması için ısıtma sistemlerimizi özel olarak tasarlıyoruz.
İdeal Mesafe ve Isı Seviyesi
Isı yoğunluğu ile güvenlik arasında her zaman bir denge kurmak gerekiyor. Yüksek ısı elde etmek için lambanın waferin yakınında olması gerekir; ancak lamba çok yakın olursa termal genleşme nedeniyle tüp parçalarının waferlere temas etmesi mümkün olur. Biz bunu tahmin etmiyoruz; wattaj ve tüp çapına göre güvenli bir mesafe hesaplıyoruz ki böylece her zaman güvenli bir bölge olsun.
Ayrıca yüksek wattajlı lambalar son derece sıcak olur; eğer montaj braketleri yeterince dayanıklı değilse bükülebilir. Biz, ısındığında fazla genleşmeyen malzemeler kullanıyoruz; bu sayede lamba sabit kalır.
Atıkları Engellemek
Parçaların waflerle temas etmesini engellemek için araya fiziksel bir bariyer koyuyoruz. Isıtıcı eleman ile wafer arasına yüksek saflıkta kuvars koruma levhaları yerleştiriyoruz. Eğer lamba arızalanıp parçalanırsa, bu koruma levhaları parçaları yakalar ve wafleriniz temiz kalır. İşte bu kadar basit.
Ayrıca makinenin içine ne konulduğuna da dikkat ediyoruz. Isıtma bölgesinin yakınında ucuz yapıştırıcılar veya düşük kaliteli izolantlar bulamazsınız. Neden mi? Çünkü bu tür malzemeler ısındığında gaz salar ve waflerinizin üzerinde ince, görünmez bir film oluşur. R7 bağlayıcılarından destek elemanlarına kadar her parça, kimyasalların işlem sürecine sızmasını engelleyecek şekilde seçilmiştir.
Tercihler Arasındaki Denge
Dürüst olmak gerekirse, koruyucu bir bariyer eklemek kızılötesi enerjinin bir kısmını engeller. Bu da ısıtma verimliliğinde hafif bir düşüşe neden olur. Bunu telafi etmek için gücü artırmanız veya işlem sürelerini ayarlamanız gerekebilir. Ancak bu küçük bir bedeldir. Bir lambanın arızalanması yüzünden tüm parti ürünlerini kaybetmekten daha iyidir.