หลอดอินฟราเรดคลื่นสั้นแบบสารกึ่งตัวนำ

Wed, 17 Jun 2026 11:05:32 +0800

ในกระบวนการผลิตที่มีความยาวคลื่น 300 มิลลิเมตร การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 1°C ระหว่างขั้นตอนการอบฟอโตรีซิสต์ ก็เพียงพอที่จะทำให้การควบคุมขนาดสำคัญของชิ้นงานเสียไป และส่งผลให้อัตราการผลิตลดลงด้วย เราจึงสร้างระบบหลอดไฟอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น (SWIR) ขึ้นมา เพื่อขจัดปัญหาดังกล่าว สิ่งสำคัญไม่ใช่แค่การให้ความร้อนเท่านั้น แต่ยังรวมถึงความเสถียรทางอุณหภูมิด้วย

สิ่งที่สำคัญคือ พลังงานจากหลอดไฟ SWIR จะถูกดูดซับเข้าไปในชั้นฟอโตรีซิสต์อย่างรวดเร็ว ดังนั้นจึงไม่มีปัญหาเรื่องความเสถียรทางอุณหภูมิของวัสดุที่ใช้ในการผลิต หลอดไฟของเราสามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้ภายในช่วง ±0.1°C ทั่วพื้นผิวที่ใช้ในการอบ และความแม่นยำในการตั้งค่าอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.2°C อีกทั้งเวลาตอบสนองของหลอดไฟก็อยู่ที่น้อยกว่า 50 มิลลิวินาที ดังนั้นอุณหภูมิจึงสามารถควบคุมได้อย่างแม่นยำ โดยไม่มีปัญหาเรื่องอุณหภูมิสูงเกินไป

ความเข้ากันได้กับห้องสะอาดก็เป็นสิ่งสำคัญเช่นกัน เราใช้วัสดุที่เหมาะสมกับมาตรฐาน Class 1–100 และพยายามลดการเกิดอนุภาคให้เหลือศูนย์ นอกจากนี้ยังมีการออกแบบระบบระบายอากาศเพื่อไม่ให้ก๊าซที่ถูกปล่อยออกมามาปนเปื้อนกับเส้นทางการอบ นอกจากนี้ ตัวหลอดไฟยังมีโครงสร้างที่ช่วยลดแสงที่ไม่จำเป็น ดังนั้นจึงไม่มีปัญหาเรื่องแสงที่รบกวนในระหว่างขั้นตอนการอบ

ในกระบวนการลิโธกราฟี การอบด้วยความร้อนระดับต่ำและระดับสูงมีบทบาทสำคัญในการควบคุมความหนาของฟิล์มและรูปร่างของชิ้นงาน การควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำจะช่วยลดความไม่สม่ำเสมอของความหนาของฟิล์ม และช่วยให้การอบมีประสิทธิภาพมากขึ้น นอกจากนี้ การดูดซับพลังงานแบบเลือกสรรของหลอดไฟ SWIR ยังช่วยลดระยะเวลาการอบได้อีกด้วย โดยยังคงความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิได้เหมือนเดิม ดังนั้นอัตราการผลิตจึงเพิ่มขึ้นโดยไม่มีปัญหาเรื่องความร้อนส่วนเกิน

สิ่งที่ได้รับคือ ขนาดสำคัญของชิ้นงานที่มีความเสถียร มีของเสียน้อยลง และคุณสมบัติการอบที่สม่ำเสมอในแต่ละชุดผลิตภัณฑ์ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะพลังงานถูกนำไปใช้ในจุดที่จำเป็นเท่านั้น คือในชั้นฟิล์ม ไม่ใช่ในอุปกรณ์ที่ใช้ในการให้ความร้อน

มีข้อควรระวังบางประการ เช่น หลอดไฟ SWIR จำเป็นต้องมีการปรับแต่งทางแสงอย่างแม่นยำ และต้องมีช่องทางการถ่ายเทความร้อนที่สะอาดและมีประสิทธิภาพ ไม่ควรนำหลอดไฟนี้มาใช้ร่วมกับแหล่งกำเนิดแสงที่มีช่วงความยาวคลื่นกว้าง เว้นแต่จะมีการปรับแต่งโครงสร้างของตัวสะท้อนและตัวกรองแสงใหม่ นอกจากนี้ ค่าความคลาดเคลื่อนในการติดตั้งก็มีความสำคัญมาก หากโครงสร้างที่ใช้ในการป้องกันความร้อนมีขนาดเล็กเกินไป ก็อาจเกิดปัญหาเรื่องความร้อนที่แพร่กระจายไปยังบริเวณอื่นได้

ควรมีการทดสอบการใช้งานก่อนเริ่มการผลิตจริง เพื่อหาจุดที่มีอุณหภูมิสูงเกินไป และปรับค่าของเครื่องวัดอุณหภูมิให้เหมาะสมกับค่าความสามารถในการถ่ายเทความร้อนของชั้นฟอโตรีซิสต์ เมื่อทำเช่นนี้แล้ว กระบวนการผลิตก็จะสามารถควบคุมได้อย่างมีประสิทธิภาพ

คลื่น on Primary Warm IR Heat Source

หลอดอินฟราเรดคลื่นสั้นแบบสารกึ่งตัวนำ