Сушка on Primary Warm IR Heat Source

Энергетический аудит сушильных установок

Wed, 29 Jul 2026 03:39:39 +0800

Перестаньте позволять обогревателям портить ваши вафры
Если вы работаете в чистой комнате класса 100, вы уже знаете, какие проблемы могут возникнуть. Одна-единственная крошечная частица загрязнения или небольшое количество газов, выделяемых обогревательным элементом, могут сделать ваши вафры бесполезными. Это очень сложная ситуация: любая ошибка может привести к полной неудаче.

Поэтому мы перестали использовать обычные обогреватели и начали использовать синтетический кварц высокой чистоты для наших инфракрасных ламп.

Секрет заключается в самом кварце.
Мы используем сплав диоксида кремния с практически нулевым содержанием примесей. Если вы когда-либо использовали дешевый кварц, то знаете, что он со временем становится «мутным» после нескольких циклов нагрева. У нашего кварца такого не происходит – он остается прозрачным и химически инертным, то есть не реагирует с теми веществами, которые находятся в помещении. Таким образом, вы получаете необходимое тепло без риска появления металлических ионов в процессе производства.

Лампа для сушки в процессе производства OLED дисплеев

Wed, 24 Jun 2026 00:41:50 +0800

При колебаниях температуры на уровне 5% во время процедуры мягкой обработки фотополимера критические размеры изделий изменяются довольно быстро. Это сразу же отражается на качестве OLED-материалов. Ответвитель должен поддерживать заданную температуру и делать это постоянно, снова и снова. Мы разработали специальные лампы для сушки OLED-материалов именно с учетом этих условий.

Что имеет значение при использовании лампы Мы используем свет в инфракрасном диапазоне с точным контролем спектра, чтобы энергия попадала именно туда, где её может поглотить фотополимер и подложка, а не в саму камеру. Цель – достичь теплового равномерия на уровне ±0,1°C. Выходная мощность остается стабильной круглосуточно; между процедурами технического обслуживания проходит более 5 000 часов, при этом отклонение интенсивности света составляет менее 5%. Устройство соответствует требованиям чистых комнат класса 1–100; его конструкция не приводит к образованию частиц, нет выделения газов, отсутствуют проблемы с огрублением поверхности.

Автоматический нагреватель для сушки пластин

Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800

Цикл отжима прекращается, а пластина всё ещё влажная. Стандартный нагреватель слишком медленно выходит на заданный режим, и температура захвата меняется по поверхности. Последствия видны сразу — остатки, смещение рисунка и рост брака. На производственной линии этап сушки и отпекания — это не простой простой. Это управляемое тепловое воздействие. Если нагрев нестабилен, профиль фоторезиста смещается, контроль критических размеров ужесточается, а частицы появляются там, где их быть не должно. Автоматический нагреватель для сушки пластин позволяет устранить эту переменную из процесса.