Кварц on Primary Warm IR Heat Source

Инфракрасная трубка из кристалла кварца мощностью 2700 Вт

Thu, 25 Jun 2026 01:02:51 +0800

На производственном участке выпекание фоторезиста — это не просто рекомендация, а обязательное требование. Говоря простыми словами: даже небольшое изменение температуры в 2°C может привести к смещению критических размеров изделия. Такие погрешности не остаются незамеченными — они быстро увеличиваются.

Инфракрасная лампа мощностью 2700 Вт предназначена для устранения таких погрешностей.

Что имеет значение с технической точки зрения При работе лампы на мощности 2700 Вт тепло распределяется быстро и сохраняется стабильным — нет никаких задержек в передаче тепла. Инфракрасное излучение попадает прямо на цель, поэтому не тратится время на нагрев окружающей среды. Это позволяет контролировать температурный режим процесса.

Кварцевая галогенная нагревательная лампа для полупроводников.

Wed, 10 Jun 2026 01:29:05 +0800

На производственном участке отклонение температуры запекания на 0,5°C способно сместить профиль фоторезиста на нанометры. Именно этого достаточно, чтобы потерять контроль ширины линии и получить большое количество брака. Кварцевые галогенные нагревательные лампы являются тепловым якорем в этом процессе, предназначенным для поддержания теплового баланса там, где он нужен — на пластине.

В техническом плане важна доставка тепла. Кварцевые галогенные лампы обеспечивают быстрое лучистое нагревание со стабильным спектральным выходом, что позволяет точно соблюдать этапы мягкого и жесткого запекания. Кварцевый баллон сохраняется чистым при повторных термоциклах, что снижает выделение газов и образование частиц.