Na linii produkcyjnej suszenie fotorezystu nie jest tylko zaleceniem – to wymóg konieczny. Powiedzmy to wprost: nawet 2°C różnicy w temperaturze...

Na hali produkcyjnej przesunięcie temperatury wypieku o 0,5°C może przesunąć profil fotooporu o nanometry. Tyle wystarczy, by utracić kontrolę nad...