IR on Primary Warm IR Heat Source

Precisiezonderfoon voor wafer

Wed, 29 Jul 2026 03:26:35 +0800

Het correct uitvoeren van thermische meting in de fabriek

Als je nog steeds afhankelijk bent van manuele metingen in je waferfabriek, dan werkt dat eigenlijk als blind vliegen. Je moet weten wat er in real-time gebeurt. Hierbij komen hoge-precisies IR-sensoren van pas. Ze maken het mogelijk om de oppervlaktetemperatuur te meten, zonder de wafer zelf aan te raken.
Het is de enige manier om dit te doen. Als je probeert de wafer aan te raken tijdens een proces bij hoge temperaturen, veroorzaak je alleen maar contaminatie of mechanische schade. Niemand wil dat.

Aluminiumreflector voor IR lamp

Sun, 12 Jul 2026 05:12:17 +0800

Het stoppen van de warmtestroom in uw halffabricatenmachines

Het probleem wanneer IR-lampen worden geplaatst in een halfgeleiderkamer, is dat de natuurkunde zich niks aantrekt van uw apparatuur. Warmte wordt in alle richtingen uitgestraald, terwijl het werkstuk slechts een piepklein puntje is in die ruimte.
Als u geen manier hebt om deze energie te sturen, zal deze gewoon heen en weer botsen en de binnenwanden van de machine beschadigen. Na verloop van tijd zal de machine oververhit raken, waardoor er een ernstig veiligheidsprobleem ontstaat wanneer iemand de buitenkant van de machine aanraakt. Niemand wil te maken hebben met een machine die zo heet is dat deze een operator kan verwonden.

Ceramische eindkap voor IR emitter

Thu, 09 Jul 2026 15:14:25 +0800

Inleiding
De wereld van halfgeleiders verandert snel. We staan allemaal onder druk om lood te vermijden en de energieverbruik te verminderen. Deze realiteit heeft ons ertoe gebracht serieus na te denken over technieken voor drogen. Eerlijk gezegd is infraroodverwarming de beste oplossing wereldwijd.

Waarom? Dat is simpel: het zorgt voor snelle, gerichte warmte, zonder al die vervelende chemische resten die bij oplosmiddel gebaseerde systemen voorkomen. En de ster van het systeem? De keramische emissor. Hij is ontworpen om intensieve hitte te kunnen weerstaan, dag in, dag uit, terwijl hij tegelijkertijd voldoet aan de hoge eisen wat betreft betrouwbaarheid en milieuaspecten.

Spanningsregelaar voor fab IR

Sat, 06 Jun 2026 00:53:09 +0800

Op de fab-vloer draait het bij photoresist bake-prestaties om nanometers en graden. Een afwijking van 0,5°C in soft bake of hard bake kan de kritieke dimensionele afwijking verschuiven, de lijndiktecontrole verstoren en een volledige batch afkeuren. De IR-verwarmingsstack in uw track of coater geeft geen ruimte voor spanningsvariaties—lampoutput, spectrale stabiliteit en thermische stabilisatie volgen allen direct de toevoer.

Wat technisch gezien van belang is
We hebben de spanningsregelaar voor fab IR zo ontworpen dat het lampvermogen binnen een nauwe tolerantie blijft, zodat u het thermische budget voor elke waferpassage behoudt. Bij lijnfluctuaties houdt de regelaar de outputstabiliteit binnen ±0,1%, wat temperatuuruniformiteit op wafer-niveau tot ±0,1°C over de bakeplaat mogelijk maakt. De constructie is cleanroom-geschikt voor Class 1–100: afgesloten uitvoering en materialen met lage gasafgifte zodat deeltjesvorming tijdens gebruik op nul blijft. Herhaalbaarheid wordt gegarandeerd door gesloten-lus regeling en een reproduceerbaar ramp-and-soak profiel, zodat elke soft bake en hard bake gelijk is aan de vorige batch.