http://warm-ir-heate-source.com/nl/tags/geautomatiseerd/ Recent content in Geautomatiseerd on Primary Warm IR Heat Source Hugo nl Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/nl/posts/automated-wafer-drying-heater/ Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/nl/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heate-source.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Geautomatiseerde waferdroogverwarmer"></p> <p>De spin-droogcyclus stopt, maar de wafer is nog nat. Een standaard verwarmingselement doet er te lang over om te stabiliseren, en de chucktemperatuur varieert over het oppervlak. De gevolgen zijn direct zichtbaar: residu, patroonverschuiving en een stijgende uitvalrate. Op de productielijn is de droog- en bakstap geen stilstand. Het is een gecontroleerde thermische handeling. Als de warmte niet constant is, verschuift het fotoresistprofiel, <a href="https://o-yate.com">wordt</a> de CD-controle strakker en verschijnen er deeltjes op plekken waar ze niet thuishoren. De geautomatiseerde waferdroogverwarmer elimineert die variabiliteit uit het proces.</p>