
Stop met het toestaan dat je verwarmingsapparaten je wafers beschadigen.
Als je een Cleanroom van klasse 100 hebt, weet je wat voor nachtmerrie dat kan zijn. Eén klein stukje vuil of wat gas dat vrijkomt van een verwarmingselement, en je wafers zijn verloren. Het is een spel waarbij elke kleine fout tot een groot falen kan leiden.
Daarom hebben we besloten om geen gebruik meer te maken van conventionele verwarmers, maar in plaats daarvan hoogzuivere synthetische kwarts te gebruiken voor onze IR-lampen.
Het geheim zit in het kwarts.
Wir gebruiken gesmolten silica met bijna geen onzuiverheden. Als je ooit goedkope kwarts hebt gebruikt, weet je dat deze na een paar thermische cycli een ‘wazig’ uiterlijk krijgt. Ons kwarts blijft echter helder en chemisch inert, waardoor het niet zal reageren met de stoffen die zich in de cleanroom bevinden. Je krijgt dus de benodigde warmte, zonder zorgen over metalen ionen die zich in het proces kunnen bevinden.
Laten we het nu hebben over de warmte.
Om de benodigde droogtijd te bereiken, stoppen we veel wattage in een kleine ruimte. Dit zorgt voor intensieve, korte golflengten IR-straling. Maar hier zit het probleem: deze hoge energie belast de verpakking van de lampen enorm.
We hebben dit opgelost door gebruik te maken van vacuümsluitingen. Er komt geen halogeengas meer in de cleanroom terecht. Wel raden we aan om in de gaten te houden of er geen oververhitting optreedt rondom de lampen. Als de warmte zich rondom de lampen ophoopt, kan dit leiden tot een kapotte lamp.
Het installeren van deze lampen is gemakkelijk.
We hebben deze lampen zo ontworpen dat ze gemakkelijk geïnstalleerd kunnen worden. Er zitten geen lijmstoffen of organische coatings in – die stoffen geven namelijk gas af wanneer ze heet worden. Alles is puur mechanisch.
Eén laatste tip: houd de stroomvoorziening in de gaten. In een cleanroom kan het lawaaierig zijn, en een plotselinge stijging van de spanning kan de lampen beschadigen. Houd de spanning stabiel, en alles zal goed gaan.
Uiteindelijk gaat het erom dat je de oplosmiddelen snel kunt laten verdampen, zonder dat er ook maar één mug van stof in het systeem terechtkomt. Dat vereist het gebruik van de juiste materialen en nauwe toleranties. Het is best simpel.