http://warm-ir-heate-source.com/ms/tags/pengawal-selia/ Recent content in Pengawal Selia on Primary Warm IR Heat Source Hugo ms Sat, 06 Jun 2026 00:53:09 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/ms/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ Sat, 06 Jun 2026 00:53:09 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/ms/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ <p><img src="http://warm-ir-heate-source.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Penstabil voltan untuk fab IR"></p> <p>Pada lantai fabrikasi, prestasi pembakaran photoresist bergantung pada nanometer dan darjah. Peralihan 0.5°C dalam pembakaran lembut atau pembakaran keras boleh mengubah bias dimensi kritikal, merosakkan kawalan lebar garis, dan menyebabkan satu lot keseluruhan dibuang. Tumpukan pemanasan IR dalam track atau coater anda tidak memaafkan variasi voltan—output lampu, kestabilan spektral, dan penyesuaian termal semuanya berkaitan langsung dengan bekalan.</p> <p><strong>Apa yang penting, dari segi teknikal</strong><br> Kami membina pengatur voltan untuk IR fab bagi mengekalkan kuasa lampu dalam toleransi ketat, supaya anda dapat mengekalkan belanjawan terma untuk setiap laluan wafer. Di bawah turun naik garis, pengatur memastikan kestabilan output pada ±0.1%, yang membolehkan keseragaman suhu tahap wafer pada ±0.1°C di seluruh plat pembakaran. Rangkaian ini sedia untuk bilik bersih Kelas 1–100: binaan tertutup dan bahan rendah pengeluaran gas supaya penghasilan zarah kekal sifar semasa operasi. Kebolehulangan dicapai melalui kawalan gelung tertutup dan profil kenaikan dan rendaman yang berulang, supaya setiap pembakaran lembut dan keras menghasilkan keputusan sama seperti kumpulan terakhir.</p>