http://warm-ir-heate-source.com/ko/tags/%EC%9E%90%EB%8F%99%ED%99%94%EB%90%9C/ Recent content in 자동화된 on Primary Warm IR Heat Source Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/ko/posts/automated-wafer-drying-heater/ Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/ko/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heate-source.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="자동화 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>스핀 드라이 사이클이 종료되었는데 웨이퍼는 여전히 젖어 있다. 표준 히터는 안정화에 시간이 너무 오래 걸리고 척 온도는 표면 전반에 걸쳐 편차가 발생한다. 결과는 즉시 나타난다—잔류물, 패턴 슬립, 그리고 증가하는 스크랩률. 생산 현장에서는 건조 및 베이크 단계가 단순한 가동 중지 시간이 아니다. 이는 제어된 열 공정이다. 열이 안정적이지 않으면 포토레지스트 프로파일이 변하고, CD 제어가 조여지며, 원하지 않는 위치에 입자가 나타나기 시작한다. 자동 웨이퍼 건조 히터는 공정의 변동성을 제거하는 수단이다.</p>