http://warm-ir-heate-source.com/ko/tags/%EA%B1%B4%EC%A1%B0/ Recent content in 건조 on Primary Warm IR Heat Source Hugo ko Wed, 29 Jul 2026 03:39:40 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/ko/posts/achieving-zero-contamination-heating-in-class-100-cleanrooms-using-high-purity-quartz-ir-lamps/ Wed, 29 Jul 2026 03:39:40 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/ko/posts/achieving-zero-contamination-heating-in-class-100-cleanrooms-using-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://warm-ir-heate-source.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="공장 건조 공정의 에너지 감사"></p> <p>더 이상 히터 때문에 웨이퍼가 망가지는 일이 없도록 하세요.<br> 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 조각이나 히팅 요소에서 나오는 가스만으로도 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 이는 매우 위험한 상황이며, 조금이라도 실수가 있으면 모든 것이 실패로 돌아갑니다.<br> 그래서 우리는 기존의 히터를 사용하는 대신, 고순도의 합성 석영을 사용하여 IR 램프를 만들었습니다.<br> <strong>비결은 바로 석영에 있습니다.</strong><br> 우리는 거의 불순물이 없는 융합된 규산을 사용합니다. 저가형 석영을 사용해본 적이 있다면, 몇 번의 열처리 후에 석영이 흐려지는 것을 경험했을 것입니다. 하지만 우리가 사용하는 석영은 그렇지 않습니다. 항상 투명한 상태를 유지하며 화학적으로 안정적이어서, 공장 내부에 있는 어떤 물질과도 반응하지 않습니다. 따라서 금속 이온이 공정에 침투할 걱정 없이 필요한 열을 얻을 수 있습니다.<br> <strong>이제 열에 대해 이야기해보겠습니다.</strong><br> 웨이퍼를 빠르게 건조시키기 위해, 우리는 작은 공간에 많은 와트數의 전력을 집중시킵니다. 이렇게 하면 강력한 단파 IR 방사선이 생성됩니다. 하지만 문제는 이런 강력한 에너지가 램프의 밀폐 구조에 큰 부담을 준다는 것입니다.<br> 우리는 진공 밀폐 방식을 사용하여 이 문제를 해결했습니다. 할로겐 가스가 청정실로 유출되는 것을 막습니다. 다만, 고부하 상태에서 사용할 경우 배기 시스템을 주의해서 관리해야 합니다. 만약 램프 주위에 열이 축적된다면, 필라멘트가 손상될 수 있습니다.<br> <strong>설치는 아주 간단합니다.</strong><br> 우리는 이 장비들을 “그대로 설치 가능한” 형태로 만들었습니다. 여기에는 접착제나 유기 코팅제가 전혀 사용되지 않았습니다. 그런 물질들은 열을 받으면 가스가 됩니다. 모든 것이 순수하게 기계적인 방식으로 작동합니다.<br> 마지막 팁: 전원 공급 장치에도 주의를 기울이세요. 공장 내부는 소음이 많을 수 있으며, 갑작스러운 전압 변동으로 인해 고순도 필라멘트가 손상될 수 있습니다. 전압을 안정적으로 유지한다면 문제없습니다.<br> 결국 중요한 것은, 먼지 한 톨도 들어가지 않으면서 용매를 빠르게 증발시키는 것입니다. 그러기 위해서는 적절한 재료를 사용하고 허용 오차를 엄격하게 관리해야 합니다. 그게 전부입니다.</p> http://warm-ir-heate-source.com/ko/posts/oled-manufacturing-drying-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 00:41:50 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/ko/posts/oled-manufacturing-drying-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heate-source.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="OLED 제조용 건조 램프"></p> <p>포토레지스트를 소프트 베이크하는 과정에서 온도가 5%만 변해도, 장치의 중요한 치수들이 급격하게 변할 수 있습니다. OLED 스택의 경우에도 이러한 변화가 즉시 나타납니다. 따라서 건조기는 설정된 온도를 유지하면서 반복적으로 작동해야 합니다. 우리는 바로 이러한 상황을 고려하여 OLED 제조용 건조등을 설계했습니다.</p> http://warm-ir-heate-source.com/ko/posts/automated-wafer-drying-heater/ Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/ko/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heate-source.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="자동화 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>스핀 드라이 사이클이 종료되었는데 웨이퍼는 여전히 젖어 있다. 표준 히터는 안정화에 시간이 너무 오래 걸리고 척 온도는 표면 전반에 걸쳐 편차가 발생한다. 결과는 즉시 나타난다—잔류물, 패턴 슬립, 그리고 증가하는 스크랩률. 생산 현장에서는 건조 및 베이크 단계가 단순한 가동 중지 시간이 아니다. 이는 제어된 열 공정이다. 열이 안정적이지 않으면 포토레지스트 프로파일이 변하고, CD 제어가 조여지며, 원하지 않는 위치에 입자가 나타나기 시작한다. 자동 웨이퍼 건조 히터는 공정의 변동성을 제거하는 수단이다.</p>