http://warm-ir-heate-source.com/ja/tags/%E9%9B%BB%E5%9C%A7/ Recent content in 電圧 on Primary Warm IR Heat Source Hugo ja Sat, 06 Jun 2026 00:53:09 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/ja/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ Sat, 06 Jun 2026 00:53:09 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/ja/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ <p><img src="http://warm-ir-heate-source.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ファブIR用電圧レギュレーター"></p> <p>ファブフロアにおけるフォトレジストのベイク性能はナノメートル単位と摂氏の差に依存します。ソフトベイクまたはハードベイクでの0.5℃のドリフトはクリティカルディメンションのバイアスをずらし、ライン幅の制御を<a href="https://o-yate.net">不可能</a>にし、ロット全体を廃棄する要因となります。トラックやコーター内のIR加熱スタックは電圧変動を許容しません。ランプ出力、スペクトルの安定性、熱の定常状態すべてが電源に直接連動しています。</p>