http://warm-ir-heate-source.com/it/tags/automatizzato/ Recent content in Automatizzato on Primary Warm IR Heat Source Hugo it Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/it/posts/automated-wafer-drying-heater/ Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/it/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heate-source.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Riscaldatore automatico per l asciugatura dei wafer"></p> <p>Il ciclo di asciugatura a centrifuga si interrompe, ma il wafer è ancora bagnato. Un riscaldatore standard impiega troppo tempo per stabilizzarsi e la temperatura del chuck varia sulla superficie. Gli effetti si vedono subito: residui, spostamenti del pattern e un tasso di scarto in aumento. Qui in linea, la fase di asciugatura e bake non è un fermo macchina. È un movimento termico controllato. Se il calore non è costante, il profilo del fotoresist si modifica, il controllo delle CD si restringe e le particelle iniziano a comparire dove non dovrebbero. Il riscaldatore automatico per l’asciugatura wafer è il modo per eliminare questa variabilità dal processo.</p>