Porre fine all’incubo della contaminazione secondaria durante il riscaldamento delle wafer
Quando si produce a alta velocità, una lampada a infrarossi danneggiata rappresenta davvero un problema. Ma non si tratta solo di tempi di fermo per la manutenzione. Il vero problema sorge quando il tubo di quarzo si rompe: all’improvviso, i frammenti di vetro e i residui chimici finiscono sulle wafer. Questo è esattamente ciò che viene definito “contaminazione secondaria”, e può rovinare un intero lotto in pochi secondi. Noi progettiamo i nostri sistemi di riscaldamento proprio per evitare che questo accada.
Trovare il giusto equilibrio tra intensità termica e sicurezza
C’è sempre un equilibrio da trovare tra intensità termica e sicurezza. Si vuole che la lampada sia vicina alla wafer per ottenere un calore intenso, ma se è troppo vicina, l’espansione termica può far sì che il tubo tocchi direttamente la wafer. Non ci affidiamo al caso: calcoliamo la distanza di sicurezza in base alla potenza della lampada e al suo diametro, così da garantire sempre una zona di protezione efficace.
Gli elementi hardware
Le lampade ad alta potenza diventano estremamente calde; se i supporti utilizzati non sono abbastanza resistenti, possono deformarsi. Noi utilizziamo materiali che non si espandono molto quando vengono riscaldati, così da mantenere la lampada centrata e stabile. Un altro consiglio utile: prestare attenzione al sistema di raffreddamento. Se il sistema non riesce a gestire il calore ambiente, le lampade si danneggeranno molto più rapidamente, aumentando così il rischio di rotture.
Evitare che i detriti entrino in contatto con le wafer
Per evitare che i detriti entrino in contatto con le wafer, utilizziamo uno scudo di quarzo ad alta purezza, posizionato proprio tra l’elemento riscaldante e la wafer. In questo modo, qualora la lampada si rompesse, lo scudo cattura i frammenti, mantenendo le wafer pulite. È semplice, no?
Attenzione ai materiali utilizzati
Siamo anche molto attenti ai materiali utilizzati all’interno della macchina. Non troverete mai adesivi o sigillanti di scarsa qualità nelle zone di riscaldamento. Perché? Perché questi materiali rilasciano sostanze tossiche quando vengono riscaldati, lasciando delle pellicole invisibili sulle wafer. Da i connettori R7 fino ai supporti, ogni singolo componente è selezionato con cura, affinché non vi siano perdite di sostanze chimiche nel processo di produzione.
Il compromesso
Ora, ecco la parte difficile: l’uso di uno scudo protettivo riduce leggermente l’intensità dell’energia infrarossa emessa dalla lampada. Si noterà quindi una leggera diminuzione nell’efficienza del riscaldamento. Per compensare, potrebbe essere necessario aumentare la potenza della lampada o modificare i tempi di funzionamento. È però un prezzo piccolo da pagare: è meglio dedicare qualche secondo in più a ogni ciclo, piuttosto che rovinare un intero lotto a causa di un guasto della lampada.