अपने हीटरों को अपने वेफरों को नष्ट करने से रोकें।
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम में काम कर रहे हैं, तो आपको इस समस्या का पता ही होगा। थोड़ी सी धूल या हीटिंग तत्वों से निकलने वाली गैसें ही आपके वेफरों को नष्ट कर सकती हैं। यह ऐसा ही खतरनाक काम है, जहाँ थोड़ी सी गलती ही पूरी व्यवस्था को नष्ट कर सकती है।
इसीलिए हमने पारंपरिक हीटरों का उपयोग बंद कर दिया, एवं अपने आईआर लैंपों में उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज का उपयोग करना शुरू कर दिया।
रहस्य तो क्वार्ट्ज में ही है।
हम लगभग शुद्धता वाला सिलिका ही उपयोग में लाते हैं। यदि आपने कभी सस्ते क्वार्ट्ज का उपयोग किया है, तो आपको पता ही होगा कि कुछ ही उष्मा-चक्रों के बाद वह “धुंधला” हो जाता है। हमारा क्वार्ट्ज ऐसा नहीं है; यह हमेशा स्पष्ट एवं रासायनिक रूप से स्थिर रहता है… इसलिए यह आपके फैब्रिकेशन प्रक्रम में मौजूद किसी भी पदार्थ के साथ अभिक्रिया नहीं करता। आपको आवश्यक ऊष्मा मिल जाती है, बिना किसी धातु-आयनों की चिंता के।
अब, ऊष्मा के बारे में बात करते हैं।
आपकी आवश्यकताओं के अनुसार तेज़ गति से सूखने हेतु, हम छोटे स्थान में ही बहुत अधिक ऊर्जा उपयोग में लाते हैं… इससे तीव्र, छोटी-तरंगदैर्घ्य वाला आईआर विकिरण प्राप्त होता है। लेकिन इसका नुकसान यह है कि ऐसी ऊर्जा से लैंपों पर बहुत दबाव पड़ता है।
हमने इस समस्या का समाधान वैक्यूम-टाइट सीलिंग के द्वारा किया… अब कोई हैलोजन गैसें क्लीनरूम में नहीं घुस पातीं। लेकिन ध्यान रखें – यदि आप इन लैंपों का उपयोग उच्च-दक्षता से कर रहे हैं, तो उनके आसपास जमा होने वाली गर्मी पर ध्यान दें… अन्यथा फिलामेंट जल सकता है।
इन लैंपों को लगाना तो आसान ही है।
हमने इन लैंपों को “ड्रॉप-इन” रूप में ही डिज़ाइन किया है… इनमें कोई चिपकने वाले पदार्थ या कार्बनिक कोटिंगें नहीं हैं… ऐसी चीजें गर्म होने पर ही गैसें उत्पन्न करती हैं। सब कुछ पूरी तरह यांत्रिक ही है।
एक और सलाह – अपने बिजली-स्रोत पर ध्यान दें… फैब्रिकेशन वातावरण में शोर हो सकता है, एवं अचानक वोल्टेज में वृद्धि होने से फिलामेंट नष्ट हो सकता है… इसलिए वोल्टेज को स्थिर रखें।
अंत में, आवश्यक बात यह है कि आपके वेफरों में मौजूद घोल जल्दी से वाष्पीकृत हो जाए… बिना किसी धूल के। इसके लिए उचित सामग्रियों का उपयोग करना आवश्यक है… बस इतना ही।