http://warm-ir-heate-source.com/he/tags/%D7%A8%D7%92%D7%95%D7%9C%D7%98%D7%95%D7%A8/ Recent content in רגולטור on Primary Warm IR Heat Source Hugo he Sat, 06 Jun 2026 00:53:09 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/he/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ Sat, 06 Jun 2026 00:53:09 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/he/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ <p><img src="http://warm-ir-heate-source.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="ויסת מתח למעבדת IR"></p> <p>בקו הייצור, ביצועי אפיית הפוטורזיסט נקבעים בננומטרים ומעלות. סטיית טמפרטורה של 0.5°C באפייה רכה או קשה יכולה להזיז את הסטייה בממד הקריטי, לפגוע בשליטה על רוחב הקווים ולבזבז לוט שלם. מחסנית החימום IR במערכת הטראק או בקואטר אינה סלחנית לשינויים במתח החשמלי — תפוקת הנורה, יציבות ספקטרלית וייצוב תרמי תלויים ישירות באספקת המתח.</p> <p><strong>מה שחשוב מבחינה טכנית</strong><br> פיתחנו את מווסת המתח ל-IR במפעל כדי לשמור על עוצמת הנורה בתוך סף סבילות צמוד, כך שתוכל לשמר את תקציב החום עבור כל מעבר וופרים. תחת תנודות בקו, המווסת שומר על יציבות תפוקה של ±0.1%, מה שמאפשר אחידות טמפרטורה ברמת הוופר של ±0.1°C על פני פלטת האפייה. המערכת מותאמת לסביבה נקייה מחלקיקים (Cleanroom) בכיתות 1–100: מבנה אטום וחומרים עם פליטה נמוכה של גזים כדי למנוע יצירת חלקיקים במהלך הפעולה. חזרתיות מושגת באמצעות שליטה בלולאה סגורה ופרופיל מהלך ואחיזה קבוע, כך שכל אפייה רכה או קשה תהיה זהה למנה הקודמת.</p>