בקו ייצור באורך 300 ממ, שינוי של 1°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט מספיק כדי לפגוע בשליטה בממדים הקריטיים של החומר, ובכך לפגוע באיכות המוצר. פיתחנו את פלטפורמת הנורות בעלות אור אינפראאדום בגלים קצרים שלנו כדי להיפטר מבעיה זו. העניין אינו רק חימום – אלא גם יציבות תרמית.
מה שחשוב באמת הוא שהאנרגיה של הנורות בגלים קצרים נקלטת במהירות וישירות לתוך שכבת הפוטורזיסט, כך שאין צורך להתמודד עם האינרציה התרמית של החומר. נורותינו מאפשרות שליטה אחידה בטמפרטורה ברמת הוופר – בטווח של ±0.1°C, והשגרה חוזרת על עצמה בטווח של ±0.2°C. זמן התגובה של הנורות הוא פחות מ-50 מילישניות, כך שהפרופיל התרמי נשמר באופן מדויק.
התאמה לחדרי ניקיון גבוהה כבר קיימת בנורותינו – אין צורך להוסיף שום דבר נוסף. אנו משתמשים בחומרים שעומדים בתקני Class 1–100, מונעים יצירה של חלקיקים, ומוודאים שהאוויר החם לא יפגע בתהליך הייצור. המעטפות של הנורות עשויות מקוורץ, והגאומטריה של המחזירים מונעת את האור המיותר, כך שהנורות אינן יוצרות רעש פוטוכימי במהלך תהליך החימום.
בתהליך הליתוגרפיה, שימוש בחימום עדין או חימום אינטנסיבי קובע את כמות החומר הדרושה ואת הפרופיל של הפוטורזיסט. שליטה קפדנית בטמפרטורה מביאה לרמת גימור גבוהה יותר ולשליטה טובה יותר בממדים של החומר. הספיגה הסלקטיבית של האנרגיה בגלים קצרים מקצרת את זמן החימום, תוך שמירה על שליטה בפרופיל התרמי. כך, הקצב של תהליך הייצור עולה, מבלי להוסיף חום מיותר לחומר.
התוצאה היא שליטה טובה יותר בממדים הקריטיים של החומר, פחות פסולת, ותהליך ייצור עקבי מלוט ללוט. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהאנרגיה הולכת לשם שהיא צריכה להגיע אליו – לתוך החומר – ולא למכשירי החימום.
כמה הערות מעשיות: נורות בגלים קצרים דורשות תיאום אופטי מדויק וחלון תרמי נקי וממוקד. אין לשלב אותן עם מקורות אור בעלי ספקטרום רחב, אלא אם כן מתאמים מחדש את המחזירים והמסננים. טווח הטעויות בהתקנה הוא קטן מאוד, ואם המחסומים אינם בגודל הנכון, עלולה להיווצר אינטרפרטציה תרמית בין האזורים השונים.
יש לתכנן ניסויים קצרים כדי לזהות את הנקודות החמות ולכייל את הפירומטר לפי האמיטנס האמיתי של שכבת הפוטורזיסט. לאחר מכן, התהליך נשאר יציב.