Chaleur infrarouge pour four de salle propre

Sun, 19 Jul 2026 08:05:00 +0800

S’assurer que les chauffages des salles propres ne provoquent pas de courts-circuits
Dans une salle propre, il n’existe pas de problèmes électriques « mineurs ». Tout doit être parfait. Lorsque nous fabriquons des chauffages à infrarouges pour ces espaces, notre plus grande préoccupation est le risque de fuite de courant vers le châssis du dispositif. Un petit défaut d’isolation suffit pour que la zone stérile soit contaminée, ou pire, pour que le système cesse complètement de fonctionner. Personne ne veut avoir affaire à ce genre de problème un vendredi après-midi.

Élément de chauffage pour four à semi conducteurs

Mon, 29 Jun 2026 02:20:21 +0800

Sur le plan de la lithographie, un léger écart de température d’un demi-degré suffit pour modifier les dimensions critiques des composants, ce qui entraîne l’exposition des profils du photorésiste avant même qu’ils ne soient soumis au processus d’etchage. Il est donc nécessaire d’avoir une température fiable et stable, et non quelque chose de variable qui puisse perturber le processus.

Ce qui est important en réalité Nous avons conçu l’élément de chauffage en tenant compte du contrôle au niveau de la wafer. Il permet de maintenir une stabilité de température de ±0,1°C sur toute la surface de la wafer. Ainsi, chaque cycle de chauffage obtient les mêmes conditions thermiques, lot après lot. L’élément de chauffage reste propre, sans génération de particules pendant les phases de démarrage et en régime stable. De plus, il respecte les normes des salles propres de classe 1–100.

Four on Primary Warm IR Heat Source

Chaleur infrarouge pour four de salle propre

Élément de chauffage pour four à semi conducteurs