Arrêter le cauchemar de la contamination secondaire lors du chauffage des wafers
Lorsque l’on produit à grande échelle, une lampe infrarouge défectueuse représente un vrai problème. Mais ce n’est pas seulement la panne elle-même qui pose problème. Le vrai cauchemar survient lorsque le tube en quartz se brise. Soudain, des éclats de verre et des résidus chimiques tombent sur les wafers. C’est là que survient la contamination secondaire, qui peut détruire toute une série de wafers en quelques secondes à peine. Nous concevons donc nos systèmes de chauffage de manière à éviter cette situation.
Trouver l’équilibre idéal : distance et chaleur
Il y a toujours un équilibre à trouver entre densité de chaleur et sécurité. On veut que la lampe soit proche des wafers pour obtenir une chaleur intense, mais si elle est trop proche, l’expansion thermique peut faire en sorte que le tube touche directement les wafers. Nous ne nous fions pas au hasard : nous calculons l’espace de sécurité nécessaire en fonction de la puissance de la lampe et de son diamètre, afin d’avoir toujours une zone de protection fiable.
Il y a aussi la question du matériel utilisé. Les lampes à haute puissance deviennent extrêmement chaudes ; si les supports ne sont pas suffisamment résistants, ils peuvent se déformer. Nous utilisons donc des matériaux qui ne se dilatent pas beaucoup lorsqu’ils chauffent, ce qui permet à la lampe de rester bien fixée en place.
Un petit conseil : assurez-vous que votre système de refroidissement fonctionne correctement. Si votre système ne parvient pas à gérer la chaleur ambiante, les lampes se briseront bien plus rapidement, ce qui augmente considérablement le risque de rupture du tube.
Éviter que les débris touchent les wafers
Pour empêcher les débris de toucher les wafers, nous mettons en place un bouclier physique entre l’élément de chauffage et les wafers. Nous utilisons un bouclier en quartz de haute pureté, qui se trouve juste entre l’élément de chauffage et les wafers. En cas de panne de la lampe, le bouclier capture les éclats. Ainsi, vos wafers restent propres. C’est tout simple.
De plus, nous sommes très exigeants quant aux matériaux utilisés dans la machine. Vous ne trouverez jamais de colles bon marché ou de joints de mauvaise qualité à proximité de la zone de chauffage. Pourquoi ? Parce que ces matériaux libèrent des gaz lorsqu’ils chauffent, ce qui laisse un film fin et invisible sur les wafers. De leurs connexions jusqu’aux supports, chaque pièce est choisie avec soin pour éviter toute fuite de produits chimiques dans le processus de fabrication.
Le compromis
Voici la partie honnête : l’ajout d’un bouclier protecteur diminue légèrement l’efficacité du chauffage. Vous remarquerez donc une légère baisse de l’efficacité de chauffage. Pour compenser cela, il vous faudra peut-être augmenter la puissance ou ajuster les temps de traitement. Mais c’est un petit prix à payer. Il vaut mieux passer quelques secondes de plus par cycle plutôt que de perdre toute une série de wafers à cause d’une lampe défectueuse.