http://warm-ir-heate-source.com/fa/tags/%D8%AE%D9%88%D8%AF%DA%A9%D8%A7%D8%B1/ Recent content in خودکار on Primary Warm IR Heat Source Hugo fa Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/fa/posts/automated-wafer-drying-heater/ Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/fa/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heate-source.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="هیتر خشککن خودکار ویفر"></p> <p>چرخه اسپین‌درای قطع می‌شود و ویفر هنوز مرطوب است. یک هیتر استاندارد زمان زیادی برای تثبیت دما نیاز دارد و دمای چاک در سطح آن نوسان می‌کند. نتیجه را بلافاصله می‌بینید—باقیمانده، جابجایی الگو و افزایش نرخ ضایعات. در اینجا، مرحله خشک‌کردن و پخت توقف تولید نیست. این یک حرکت حرارتی کنترل‌شده است. اگر حرارت ثابت نباشد، پروفیل فوتورزیست تغییر می‌کند، کنترل CD سخت‌تر می‌شود و ذراتی ظاهر می‌شوند که نباید باشند. هیتر خشک‌کن خودکار ویفر راه‌حلی است برای حذف این نوسانات در فرایند.</p>