جلوگیری از وقوع آلودگیهای ثانویه در فرآیند گرم کردن ویفرها
هنگامی که سعی میکنید تولید را با بار بالا انجام دهید، لامپهای مادون قرمزی که خراب میشوند، مشکلات زیادی ایجاد میکنند. اما مشکل فقط مربوط به زمان توقف تولید نیست.
واقعاً مشکل زمانی پیش میآید که لوله کوارتزی مربوطه منفجر شود؛ در این صورت، تکههای شیشهای و مواد شیمیایی روی ویفرها میافتند. این همان آلودگی ثانویه است؛ این آلودگی میتواند در عرض چند ثانیه، کل محموله را از بین ببرد. ما سیستمهای گرمایشی خود را به گونهای طراحی کردهایم که چنین اتفاقی رخ ندهد.
یافتن تعادل مناسب: فاصله و میزان حرارت
همیشه تعادلی بین تراکم حرارت و ایمنی وجود دارد. شما میخواهید لامپ در فاصله نزدیکی ویفر قرار داشته باشد تا حرارت کافی ایجاد شود؛ اما اگر فاصله خیلی کم باشد، انبساط حرارتی میتواند باعث شود که لامپ به ویفر برخورد کند.
ما در این زمینه حدس و گمان نمیکنیم؛ بلکه فاصله ایمنی را بر اساس توان لامپ و قطر لوله محاسبه میکنیم تا همیشه یک فاصله ایمن وجود داشته باشد.
همچنین، لامپهایی که توان بالایی دارند، بسیار داغ میشوند؛ این دما میتواند باعث تغییر شکل قطعات مربوط به نصب لامپ شود. ما از موادی استفاده میکنیم که هنگام گرم شدن، تغییر شکل چندانی نداشته باشند؛ این کار باعث میشود لامپ در جای خود ثابت بماند.
یک نکته مهم: به سیستم خنککننده توجه کنید؛ اگر سیستم شما نتواند گرمای محیط را کنترل کند، لامپها خیلی سریع خراب خواهند شد و در این صورت، خطرات ناشی از منفجر شدن لامپها بسیار بالا خواهد بود.
جلوگیری از ورود ذرات ناخواسته
برای جلوگیری از ورود ذرات ناخواسته به ویفرها، از یک سپر فیزیکی استفاده میکنیم.
ما از سپرهای کوارتزی با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این سپرها درست بین عنصر گرمایشی و ویفر قرار میگیرند. اگر لامپ خراب شود، این سپرها تکههای شیشهای را جذب میکنند؛ در نتیجه ویفرها تمیز باقی میمانند. این کار خیلی ساده است.
همچنین، ما به موادی که وارد دستگاه میشوند، توجه زیادی میکنیم؛ شما هرگز چسبهای ارزان یا مواد ضدآب با کیفیت پایین را در نزدیکی مناطق گرمایشی پیدا نخواهید کرد. چرا؟ چون این مواد هنگام گرم شدن، گازهایی تولید میکنند که لایههای نازک و نامرئیی روی ویفرها ایجاد میکنند. از کانکتورهای R7 گرفته تا قطعات پشتیبانی، هر قطعهای که استفاده میشود، به گونهای انتخاب شده است که مواد شیمیایی وارد فرآیند تولید نشوند.
توازن بین مزایا و معایب
حالا، نکته صادقانه این است که استفاده از سپرهای حفاظتی، مقداری از انرژی مادون قرمز را مسدود میکند؛ در نتیجه، کارایی گرمایش کمی کاهش مییابد.
برای جبران این موضوع، ممکن است نیاز باشد توان لامپ را افزایش دهید یا زمان اجرای فرآیند را تغییر دهید. اما این هزینه کوچکی است؛ بهتر است چند ثانیه بیشتر برای اجرای فرآیند صرف کنیم، تا اینکه کل محموله به دلیل خراب شدن یک لامپ، از بین برود.