Hornos para salas limpias _con calentador infrarrojo

Sun, 19 Jul 2026 08:04:55 +0800

Asegurarse de que los calentadores de las salas limpias no causen cortocircuitos
En una sala limpia, no existe algo como un “pequeño” problema eléctrico. Todo debe estar perfecto. Cuando fabricamos calentadores infrarrojos para estos espacios, nuestra mayor preocupación es la posibilidad de que haya fugas de corriente hacia el chasis del dispositivo. Un solo fallo en el aislamiento puede provocar que la zona estéril se contamine, o incluso causar el apagado total del sistema. Nadie quiere tener que lidiar con eso un viernes por la tarde.

Elemento calefactor de horno semiconductor

Mon, 29 Jun 2026 02:20:21 +0800

En el proceso de litografía, incluso un desvío de medio grado en la temperatura durante el proceso de calentamiento es suficiente para alterar las dimensiones críticas del material fotolítico, lo que hace que los perfiles del mismo queden expuestos antes de que sean sometidos al proceso de grabado. Se necesita un sistema de calefacción fiable, no algo impredecible.

Lo que realmente importa Hemos diseñado el elemento calefactor del horno para que permita un control preciso de la temperatura a nivel de la oblea. Esto garantiza una estabilidad de la temperatura dentro de un rango de ±0.1°C en toda la superficie de la oblea. De este modo, cada proceso de calentamiento tiene las mismas condiciones térmicas, independientemente del lote. El elemento calefactor permanece limpio, sin generación de partículas durante el proceso de calentamiento, y cumple con las normas de las salas limpias de clase 1–100.

Horno on Primary Warm IR Heat Source

Hornos para salas limpias _con calentador infrarrojo

Elemento calefactor de horno semiconductor