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		<title>Automatizado on Primary Warm IR Heat Source</title>
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				<title>Calentador automatizado para secado de obleas</title>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://warm-ir-heate-source.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png&#34; alt=&#34;Calentador automatizado para secado de obleas&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;El ciclo de centrifugado se detiene y la oblea sigue húmeda. Un calentador estándar tarda demasiado en estabilizarse y la temperatura del chuck varía a lo largo de la superficie. Se observan de inmediato las consecuencias: residuos, desplazamiento del patrón y una tasa de rechazo que aumenta. En la línea, el paso de secado y horneado no es tiempo muerto; es un movimiento térmico controlado. Si el calor no es constante, el perfil del fotoresiste cambia, el control de CD se ajusta y las partículas comienzan a aparecer donde no deben. El calentador automatizado para secado de obleas es la forma en que eliminamos esa variabilidad del proceso.&lt;/p&gt;</description>
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