Cómo lograr un mapeo térmico preciso en la fábrica de chips
Si todavía depende de la toma de muestras manuales en su fábrica de chips, básicamente está trabajando a ciegas. Es necesario poder ver lo que está sucediendo en tiempo real. Aquí es donde entran en juego los sensores de IR de alta precisión. Ellos nos permiten conocer las temperaturas de la superficie sin tener que tocar el chip en absoluto.
Es la única forma de hacerlo. Si intenta tocar el chip durante un ciclo de alto calor, solo está creando riesgos de contaminación o daños mecánicos. Nadie quiere eso.
Los desafíos relacionados con la física
Los termopares estándar no son adecuados para chips de 300 mm. Son demasiado lentos y además interfieren con el proceso.
Nuestros sistemas de IR funcionan capturando la radiación electromagnética emitida por el silicio. Pero aquí está el problema: hay que lidiar con la emisividad del material. La temperatura del material cambia a medida que se calienta, y las lecturas también cambian. Pasamos mucho tiempo calibrando nuestros sensores para ignorar el “ruido” proveniente de las paredes del horno. Queremos conocer el estado real del chip, no la temperatura de la habitación.
Hacer que los datos sean realmente útiles
Un sensor que simplemente muestra un número en la pantalla no es muy útil.
Conectamos estos sensores directamente al sistema PLC o SCADA. Esto permite que el sistema reaccione de inmediato. Si el sensor detecta una zona fría en el borde del chip, el sistema ajusta los elementos de calentamiento en pocos milisegundos.
De esta manera, desaparecen las incertidumbres. Ya no hay necesidad de apostar por que la temperatura sea correcta; uno sabe que lo es.
La realidad
La precisión no es algo gratuito. Requiere espacio y tiene sus propias limitaciones.
Los sensores de IR necesitan una línea de visión clara. Si la ventana de la cámara se ensucia debido a vapores químicos o acumulación de residuos, los datos comienzan a ser inexactos. Es frustrante, pero así es como ocurren las cosas.
Por eso es necesario contar con un sistema eficaz de purga de gases para mantener las lentes limpias. Mantenga las ópticas limpias. Porque, seamos honestos: el sensor más caro del mundo es inútil si está mirando a través de una ventana sucia. Simplemente obtendrá datos inútiles.