Oven mit Infrarotheizung für Saalreinräume

Sun, 19 Jul 2026 08:05:02 +0800

Sicherstellen, dass die Heizungen in Reinräumen keine Überspannungen verursachen
In einem Reinraum gibt es keine „kleinen“ elektrischen Probleme – alles muss perfekt sein. Wenn wir Infrarotheizer für solche Räume herstellen, ist das größte Problem die Durchströmung von Strom durch das Gehäuse des Geräts. Schon ein kleiner Fehler in der Isolierung kann dazu führen, dass die sterile Umgebung kontaminiert wird – oder, noch schlimmer, dass das gesamte System ausfällt. Niemand möchte am Freitagnachmittag mit so einem Problem konfrontiert werden.

Heizelement für Halbleiteröfen

Mon, 29 Jun 2026 02:20:22 +0800

Auf der Lithografieebene reicht bereits eine Abweichung von einem halben Grad aus, damit kritische Abmessungen beeinflusst werden und die Profile des Photoresists bereits vor dem Ätzen sichtbar werden. Man benötigt daher eine zuverlässige Heizung – nichts, was wie ein „Wildcard-Effekt“ wirkt.

Was wirklich zählt
Wir haben den Heizelement der Öfen so konstruiert, dass die Temperaturstabilität auf der gesamten Fläche des Wafers bei ±0,1 °C liegt. Dadurch erhalten alle Prozesse denselben thermischen Zustand – egal ob es sich um „Soft Bake“- oder „Hard Bake“-Prozesse handelt. Das Heizelement bleibt außerdem sauber – es entstehen keine Partikel während des Aufheizvorgangs sowie im Betriebszustand. Zudem entspricht das Design den Anforderungen von Reinräumen der Klassen 1–100.

Ofen on Primary Warm IR Heat Source

Oven mit Infrarotheizung für Saalreinräume

Heizelement für Halbleiteröfen