http://warm-ir-heate-source.com/de/tags/automatisiert/ Recent content in Automatisiert on Primary Warm IR Heat Source Hugo de Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/de/posts/automated-wafer-drying-heater/ Mon, 01 Jun 2026 12:13:07 +0800 http://warm-ir-heate-source.com/de/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heate-source.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Automatischer Wafer Trocknungsheizer"></p> <p>Der Schleudertrocknungszyklus endet, und die Wafer sind noch nass. Ein Standardheizer braucht zu lange, um sich einzuregulieren, und die Chucks-Temperatur driftet über die Oberfläche. Die Folgen sieht man sofort – Rückstände, Musterverzug und eine steigende Ausschussrate. Hier in der Fertigung ist der Trocknungs- und Backschritt keine Stillstandszeit. Es ist eine kontrollierte thermische Maßnahme. Wenn die Temperatur nicht stabil ist, verschiebt sich das Photoresist-Profil, die CD-Kontrolle wird enger, und Partikel tauchen an unerwünschten Stellen auf. Der automatisierte Wafer-Trocknungsheizer ist das Mittel, um diese Variabilität aus dem Prozess zu eliminieren.</p>