লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, মাত্র অর্ধ ডিগ্রির তাপমাত্রা পরিবর্তনই যথেষ্ট; এর ফলে ফটোরেজিস্টের গঠন পরিবর্তিত হয়ে যায়। এটা ইচ্ছিত ফলাফল পাওয়ার জন্য...

৩০০ মিমি লাইনে, ফটোরেসিস্ট বেক করার সময় ১°C এর মতো তাপমাত্রা পরিবর্তনই ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন নিয়ন্ত্রণকে বিঘ্নিত করে এবং উৎপাদন ক্ষমতাকেও কমিয়ে...