Tại sao chúng ta lại chuyển sang phương pháp sử dụng bức xạ hồng ngoại trong quy trình chế tạo半导体的?
Hầu hết các nhà máy sản xuất半导体 vẫn còn sử dụng phương pháp sử dụng luồng khí nóng để làm nóng chi tiết cần xử lý. Phương pháp này hoạt động được, nhưng tốc độ rất chậm. Hãy tưởng tượng xem: bạn phải làm nóng không khí trước, rồi mới dùng không khí đó để làm nóng chi tiết. Đó là một bước trung gian không cần thiết, và nó khiến thời gian xử lý bị kéo dài.
Đó là lý do tại sao nhiều người chuyển sang sử dụng bức xạ hồng ngoại. Bức xạ hồng ngoại không cần phải qua bước làm nóng không khí; nó trực tiếp truyền năng lượng vào chi tiết cần xử lý.
Vấn đề liên quan đến thời gian xử lý.
Với phương pháp sử dụng khí nóng, bạn phải chờ cho toàn bộ buồng xử lý đạt đến nhiệt độ cần thiết trước khi chi tiết bắt đầu được làm nóng. Đó là một quá trình chờ đợi kéo dài.
Còn với bức xạ hồng ngoại thì khác. Nó có thể làm nóng chi tiết trong vài giây thôi. Khi thời gian xử lý được rút ngắn, thời gian xử lý mỗi tấm wafer cũng giảm đáng kể. Đó chính là lý do khiến mọi người chuyển sang sử dụng phương pháp này.
Lưu ý về việc lắp đặt dây điện.
Ở đây, có một điểm cần lưu ý: bạn không thể sử dụng dây điện thông thường như PVC hay silicone gần các thiết bị phát bức xạ hồng ngoại. Hơi nóng từ các thiết bị này rất mạnh; nó có thể làm tan chảy lớp vỏ bọc của dây điện trong vài giờ.
Chúng tôi luôn sử dụng dây điện được phủ lớp Teflon (PTFE). Loại dây này có thể chịu được nhiệt độ cao trong các thiết bị chế tạo半导体 mà không bị nứt hoặc tỏa ra khí độc hại. Đó là cách duy nhất để đảm bảo rằng các mạch điện vẫn hoạt động tốt khi các thiết bị phát nhiệt hoạt động ở mức tối đa.
Những điểm cần cân nhắc.
Bức xạ hồng ngoại không phải là giải pháp hoàn hảo. Nó chỉ có tác dụng trong một hướng nhất định. Khí nóng bao quanh chi tiết như một tấm chăn, nhưng bức xạ hồng ngoại thì giống như ánh sáng từ đèn pin. Nếu vị trí đặt đèn không chính xác, bạn sẽ gặp phải những vùng lạnh. Nếu chi tiết có hình dạng phức tạp, bạn cần sử dụng nhiều đèn để chiếu sáng từ nhiều hướng khác nhau.
Bạn cũng cần chú ý đến bề mặt của chi tiết. Vì bức xạ hồng ngoại rất mạnh, bạn có thể làm cháy bề mặt chi tiết trước khi phần lõi của nó được làm nóng.
Nếu bạn muốn tăng sản lượng mà không cần mở rộng diện tích nhà máy, thì bức xạ hồng ngoại chính là giải pháp tốt nhất.