فوٹوریزسٹ کو نرم بیک کرنے کے دوران، درجہ حرارت میں 5% کی تبدیلی سے اہم پیمائشی اعداد و شمار فوراً تبدیل ہو جاتے ہیں۔ OLED ڈیوائسز میں یہ تبدیلی فوراً ظاہر ہو جاتی ہے۔ ڈرائر کو مطلوبہ درجہ حرارت پر رکھنا ضروری ہے، اور اس عمل کو بار بار دہرانا پڑتا ہے۔ ہم نے اپنے OLED تیاری کے لئے استعمال ہونے والے ڈرائر کو بالکل اسی مقصد کے لئے ڈیزائن کیا ہے۔
داخلی سطح پر کیا اہم ہے؟
ہم NIR روش کا استعمال کرتے ہیں، اور اس کے ذریعہ توانائی کو صرف فوٹوریزسٹ اور سبسٹریٹ پر ہی خرچ کیا جاتا ہے، نہ کہ کمرے کو گرم کرنے کے لئے۔ ہدف یہ ہے کہ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہے، اور اسی طرح مطلوبہ درجہ حرارت کو برقرار رکھنا ضروری ہے۔ آؤٹ پٹ 24 گھنٹے مستحکم رہتا ہے، اور آؤٹ پٹ کی دیکھ بھال کے درمیانی وقفے 5,000 گھنٹوں سے زیادہ ہوتا ہے، اور توانائی کی شدت میں 5% سے کم تغیر ہوتا ہے۔ یہ ڈرائر کلاس 1-100 کے کلین روم کے معیارات کے مطابق ہے، اور اس کی ڈیزائن سے کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے، نہ ہی کوئی گرم جگہیں بنتی ہیں۔
یہ OLED لیتھوگرافی اور فوٹوریزسٹ پروسیسنگ کے لئے کیوں مناسب ہے؟
OLED لیتھوگرافی میں، موٹائی، چپکنے کی صلاحیت، اور کناروں کی صفائی کے لئے یکساں سافٹ بیک اور ہارڈ بیک پروفائل ضروری ہیں۔ یہ ڈرائر درجہ حرارت کو مطلوبہ حد میں رکھتا ہے، جس سے پروسیسنگ کے دوران کم تبدیلیاں ہوتی ہیں۔ تیز تھرمل ردِعمل سے پروسیسنگ کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور مرکوز توانائی سے توانائی کی کھپت کم ہو جاتی ہے۔ اس طرح پروسیسنگ کے نتائج بہتر ہوتے ہیں، اور پروسیسنگ کے دوران کم خرابیاں ہوتی ہیں۔
جب اسے استعمال کیا جائے تو کیا توقع کی جاسکتی ہے؟
یہ ڈرائر موجودہ ڈرائرز میں استعمال کیا جا سکتا ہے، لیکن اس کی انٹیگریشن کمرے کی ساخت اور ہوا کے بہاؤ پر منحصر ہے۔ اپنے فوٹوریزسٹ اور سبسٹریٹ کے لئے پروفائل کو ایڈجسٹ کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے۔ ایک بار ایڈجسٹمنٹ ہو جانے کے بعد، دیکھ بھال آسان ہو جاتی ہے – ڈرائرز کو باقاعدگی سے تبدیل کرنا، آپٹیکل حصوں کو صاف رکھنا، اور سسٹم مطلوبہ اعداد و شمار کو برقرار رکھے گا۔