Чому ми відмовляємося від використання гарячого повітря у процесі напівпровідникової обробки
Більшість заводів з виробництва напівпровідників досі використовують метод циркуляції гарячого повітря. Цей метод, звісно, ефективний, але він дуже повільний. Уявіть собі: потрібно нагрівати повітря, щоб те, у свою чергу, могло нагріти сам елемент. Це зайвий етап, який не потрібен, і він значно уповільнює процес обробки.
Саме тому багато хто починає використовувати інфрачервоне випромінювання. Інфрачервоне випромінювання не впливає на повітря; воно прямо передає енергію на поверхню елемента.
Усе залежить від швидкості процесу.
З гарячим повітрям доводиться боротися з законами фізики – потрібно чекати, поки вся камера досягне певної температури, перш ніж елемент почне нагріватися. Це тривалий процес.
Інфрачервоне випромінювання працює інакше – елемент нагрівається майже миттєво. Таким чином час обробки одного елемента значно скорочується. Саме це є основною причиною, чому люди переходять на цей метод.
Попередження щодо електропроводки
Тут можуть виникнути проблеми. Не можна просто використовувати звичайні електропровідники з ПВХ чи силікону поблизу пристроїв, які використовують інфрачервоне випромінювання. Інтенсивне тепло може розтопити такі електропровідники за кілька годин.
Ми завжди використовуємо електропровідники, покриті тефлоном (PTFE). Вони можуть витримувати високі температури без появи тріщин чи виділення шкідливих газів. Це єдиний спосіб забезпечити цілісність електропроводки під час роботи пристроїв на повну потужність.
Переваги та недоліки
Інфрачервоне випромінювання – це не чудо. Воно має напрямлений характер. Гаряче повітря огортає елемент, як ковдра, але інфрачервоне випромінювання діє більше як ліхтарик. Якщо положення лампи неправильне, можуть утворитися „холодні точки“. Якщо елемент має складну форму, потрібно використовувати кілька ламп, які будуть освітлювати елемент з різних кутів.
Також потрібно уважно стежити за поверхнею елемента. Через високу інтенсивність інфрачервоного випромінювання можна випалити поверхню елемента ще до того, як його ядро нагріється.
Якщо ви хочете отримати більше продукції без необхідності збільшення площі приміщення, інфрачервоне випромінювання є оптимальним рішенням.