Під час процедури м’якого випалювання фотополімеру зміна температури на 5% може значно вплинути на критичні розміри елементів – і це відбувається дуже швидко. OLED-компоненти також відразу ж показують наслідки цих змін. Сушарка повинна підтримувати задану температуру протягом усього процесу, а потім повторювати цей процес знову та знову. Ми створили сушарку для виробництва OLED саме з урахуванням цих умов.
Що є важливим усередині пристрою
Ми використовуємо ІЧ-випромінювання з точним контролем спектру, щоб енергія потрапляла саме туди, де її поглинають фотополімер та підкладка, а не накопичувалась в камері. Метою є досягнення теплової однорідності на рівні ±0,1°C, при цьому точність підтримки заданої температури також має бути високою. Рівень виходу енергії залишається стабільним протягом усього часу роботи; між подальшим технічним обслуговуванням пристрою проходить понад 5 000 годин, а зміна інтенсивності випромінювання становить менше 5%. Пристрій придатний для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; його конструкція не спричиняє утворення частинок – немає виділення газів, немає відшарування матеріалу, немає „гарячих точок“.
Чому цей пристрій підходить для літографії OLED та обробки фотополімерів
У процесі літографії OLED необхідні стабільні параметри процедур м’якого та жорсткого випалювання, щоб зберегти правильну товщину шарів, їх адгезію та усунути непотрібні дефекти на краях елементів. Цей пристрій дозволяє підтримувати температуру в заданих межах, тож параметри процесу залишаються стабільними, що зменшує кількість необхідних корекцій. Швидка реакція пристрою на зміни температури скорочує час виконання процесу; крім того, фокусоване випромінювання дозволяє зменшити споживану енергію. Це позитивно впливає на якість продукції та зменшує кількість проблем, пов’язаних із процесом випалювання.
Що очікувати після встановлення пристрою
Пристрій розроблений так, щоб можна було його встановити в існуючі сушарки, але його інтеграція все одно залежить від геометрії камери та режиму руху повітря. Необхідно передбачити час на налаштування пристрою під конкретні умови використання. Після налаштування технічне обслуговування стає простим – достатньо своєчасно замінювати лампи та підтримувати чистоту оптичних елементів. Таким чином пристрій буде підтримувати необхідні параметри протягом усього часу роботи.