IR Yarı İletken Isıtma Sistemlerinde Doğru Sıcaklığı Elde Etme
Eğer yonga üretiminde karbon nötralitesi hedeflerine ulaşmak istiyorsak, tüm büyük odaları dirençli fırınlarla ısıtmaktan vazgeçmeliyiz. Bu oldukça israf olur. En iyi çözüm, doğrudan waferlere etki eden kızılötesi lamba sistemlerini kullanmaktır.
Ancak burada bir sorun var: Kızılötesi ışınlar çok hızlıdır. Durumu kontrol altında tutabilmek için, bu hızlı sıcaklık artışlarına ayak uydurabilen bir termokupl veya pirometreye ihtiyaç vardır.
Geri Besleme Döngüsü
Bu sistemde termokupl sadece bir termometre değildir; aslında atılacak waferlerden korunmak için bir güvencedir. Genellikle yüksek kaliteli Type K veya Type N sensörler tercih edilir. Neden mi? Çünkü bu sensörler, kızılötesi lambaların oluşturduğu yüksek sıcaklık artışlarına dayanabilir. Eğer sensörünüz yavaş çalışırsa, hedef sıcaklığın üzerine çıkarsınız. Bu durumda silisyumun kalitesi bozulur ve silikon işe yaramaz hale gelir. PID döngüsünün düzgün ve öngörülebilir kalması için milisaniye düzeyinde tepki süreleri hedeflenir.
Isı ve Hatalarla Başa Çıkma
Yarı iletken ekipmanların iç ortamı donanım açısından oldukça zorlayıcıdır. Yoğun ısı yoğunluğu ve vakum koşullarıyla başa çıkmak gerekiyor. Kabloların yanmasını engellemek için Inconel veya paslanmaz çelikle kaplı mineral yalıtımlı kablolar kullanılır. Ancak başka bir sorun daha var: Zamanla hassasiyetin azalması. Bu küçük gibi görünse de, eğer sensörünüz 2°C kadar hata yaparsa, tüm üretimi mahvedebilir. Bu durumdan kaçınmak için her 500 çalışma saatinde bir kalibrasyon kontrolü yapılması önerilir. Böylece sorunlar ortaya çıkmadan önce tespit edilebilir.
Tercihler ve Riskler
Bunu karbon nötralite sistemine entegre etmek kendi sorunlarını beraberinde getirir; bunlardan en önemlisi lamba güç kaynaklarından kaynaklanan elektromanyetik girişimlerdir. Eğer ekranlı kablo kullanmazsanız, okumalarda gürültüler oluşur ve bu da işleri karmaşıklaştırır. Her zaman bir uzlaşma gereklidir. Yüksek hassasiyetli sensörler mükemmel veriler sağlar, ancak çok kırılgandırlar. Hassasiyet için bir miktar dayanıklılıktan fedakarlık yapmak gerekir. Eğer yüksek hacimli üretim yapıyorsanız, montajların sağlam olduğundan emin olun. Aksi takdirde titreşimler sensörleri bozar.