Por que estamos deixando de usar ar quente no processo de semicondutores
A maioria das linhas de produção de semicondutores ainda utiliza ar quente para o processo de aquecimento. Claro, isso funciona, mas é extremamente lento. Pense nisso: você precisa aquecer o ar primeiro, para que ele possa, por sua vez, aquecer a peça. É como ter um intermediário desnecessário, o que causa grandes atrasos no processo.
É por isso que muitos estão passando a usar radiação infravermelha. A radiação infravermelha não interfere com o ar; ela envia energia diretamente para o substrato.
Tudo se resume ao tempo.
Com ar quente, você está lutando contra as leis da física. É preciso esperar que toda a câmara atinja uma temperatura específica antes que a peça comece a esquentar. É um processo lento.
Já a radiação infravermelha é diferente. Ela permite que a temperatura desejada seja alcançada em segundos. Ao reduzir esse tempo de aquecimento, o tempo total de processamento por wafer diminui significativamente. Essa é a verdadeira razão pela qual as pessoas estão adotando essa tecnologia.
Aviso importante sobre os cabos utilizados.
Há alguns pontos importantes a considerar. Não se pode usar cabos comuns de PVC ou silicone perto desses sistemas de radiação infravermelha. O calor emitido é intenso demais – ele pode derreter o revestimento dos cabos em poucas horas.
Sempre utilizamos cabos revestidos com teflão (PTFE). Eles conseguem suportar o calor presente nos equipamentos de semicondutores sem rachar ou liberar gases nocivos. É a única maneira de garantir que os circuitos permaneçam intactos mesmo quando os aquecedores estão funcionando à capacidade máxima.
Os custos-benefícios.
Claro, a radiação infravermelha não é mágica. Ela tem um alcance direcional. Enquanto o ar quente envolve a peça como um cobertor, a radiação infravermelha age mais como uma lanterna. Se a posição das lâmpadas estiver incorreta, haverá pontos frios na peça. Se a peça tiver um formato complexo, será necessário utilizar várias lâmpadas dispostas em diferentes ângulos.
Além disso, é preciso ficar atento à superfície da peça. Devido à intensidade da radiação infravermelha, é possível queimar a superfície da peça antes mesmo que seu interior se aqueça.
Se você deseja produzir mais produtos sem precisar de mais espaço, a radiação infravermelha é a solução ideal.