Waarom goudreflectoren de perfecte oplossing zijn voor het verwarmen van halfgeleiders
Wanneer je te maken hebt met het verwijderen van gasen uit wafers en het drogen ervan, heb je warmte nodig – en dat snel. Maar het gaat niet alleen om het opwarmen van de wafer; het is belangrijk dat de warmte precies daar terechtkomt waar het moet zijn, in plaats van dat de rest van de apparatuur wordt verhit.
Hierbij komen korte golflengte-infraroodlampen en goudplatede reflectoren van pas.
De fysica is vrij simpel. De meeste mensen gebruiken aluminiumreflectoren, maar aluminium neemt te veel energie op. Goud daarentegen is zeer efficiënt in het weerspiegelen van infraroodlicht. Hierdoor bereiken meer fotonen de wafer, terwijl minder energie verloren gaat in de reflector zelf.
Je krijgt zo een nauwkeuriger, geconcentreerdere straal warmte. Omdat de focus zo scherp is, kan je de totale vermogenssterkte verminderen, zonder dat de oppervlaktetemperatuur van de wafer daalt. Dat is natuurlijk een win-winsituatie.
Er is ook nog een ‘verborgen’ voordeel: je stroomrekening.
Deze lampen werken met hoge vermogensdichtheden, zodat de opwarmtietijd korter is. Als je een goedkope reflector gebruikt, lekt er veel warmte naar buiten. Het HVAC-systeem in je schone ruimte moet dan extra hard werken om die warmte uit de lucht te halen.
Als je overstapt op goudreflectoren, hoef je niet meer te vechten tegen je eigen koelsysteem. Hierdoor wordt er echt energie bespaard. Het gaat niet alleen om de lamp, maar ook om het feit dat de hele ruimte minder energie hoeft te verbruiken.
Er is echter wel een nadeel.
Goud is gevoelig. Je kunt het niet zomaar schoonmaken met agressieve chemicaliën, want dan raakt de goudlaag beschadigd. Je moet dus goed opletten bij het onderhoud.
Als er stof of andere vervuiling op het oppervlak terechtkomt, neemt de efficiëntie af. Je moet dan meer energie gebruiken om dezelfde resultaten te behalen. Dat gaat natuurlijk ten koste van de energiebesparing.
Maar als je goed voor ze zorgt, kun je van een grove verwarmingsapparaat een precisieinstrument maken. Geen energieverspilling meer voor lucht die niet per se heet hoeft te zijn.