Bij een temperatuurschommeling van 5% tijdens het zachte bakproces van de fotoresist, kunnen de cruciale afmetingen snel veranderen. De OLED-stack zal dit meteen laten merken. De droger moet dus het ingestelde temperatuurniveau behouden en dit herhalen, keer op keer. We hebben onze droger voor de productie van OLED’s juist ontworpen om deze situatie aan te kunnen.
Wat belangrijk is onder het oppervlak
We gebruiken NIR-licht met nauwkeurige spectroscopische controle, zodat de energie precies daar terechtkomt waar de fotoresist en het substraat deze kunnen opnemen, in plaats van dat de kamer wordt opgewarmd. Het doel is een thermische uniformiteit op het niveau van de chip van ±0,1°C, met een herhaalbaarheid die hiermee overeenkomt. De uitgangssignalen blijven het hele uur door stabiel; er is maar weinig intensiteitsafwijking, zelfs na meer dan 5.000 uur gebruik. De installatie is geschikt voor gebruik in een schone ruimte van klasse 1–100. Bovendien veroorzaakt de constructie geen partikeltjes – er is geen uitgasen, geen loskomen van materie en geen hete punten.
Waarom het geschikt is voor OLED-lithografie en fotoresistverwerking
Bij OLED-lithografie is het belangrijk om consistente parameters voor het zachte en harde bakproces te hebben, zodat de dikte, de hechting en het verwijderen van oneffenheden op de randen goed worden geregeld. Deze droger houdt de thermische parameters binnen de gewenste grenzen, zodat de exposeringscondities constant blijven en er minder herwerkingspatronen nodig zijn. De snelle thermische respons verkort de tijd die nodig is voor het proces. Bovendien zorgt het gefocuste energieverbruik voor een lagere energieverbruik. Hierdoor wordt de productiekwaliteit verbeterd en kan de productielijn beter functioneren.
Wat u kunt verwachten wanneer u hem installeert
De droger is zo ontworpen dat hij kan worden geïntegreerd in bestaande drogers en systemen. Echter, de integratie hangt nog steeds af van de geometrie van de kamer en de luchtcirculatie. Plan een korte tijd in voor het afstemmen van de parameters op uw specifieke fotoresist- en substraatomstandigheden. Eenmaal gekalibreerd, is het onderhoud eenvoudig: vervang de lampen op tijd en houd de optica schoon. Op deze manier blijven de gewenste parameters behouden.