Op de productieafdeling kan één enkele temperatuursstijging tijdens het verwerken van de fotoresist al tot grote problemen leiden. Het aantal gewonnen chips is beperkt. De thermische parameters mogen niet worden veranderd; er is geen ruimte voor gokken.
Wat technisch gezien belangrijk is We richten ons op de thermische factoren die de kwaliteit van het proces bepalen: het ‘soft bake’-proces, het ‘hard bake’-proces en de stabilisatie na het aanbrengen van de fotoresist. Infraroodstraling verwarmt snel het hele materiaal, zodat er minder oplossingen achterblijven en het ‘skin-effect’ wordt voorkomen. Ook blijft de uniformiteit van de temperatuur over het hele oppervlak van de chip binnen ±0,1°C.
De emitters zijn ontworpen om te worden gebruikt in een schone omgeving – ze zijn compatibel met Class 1–100. De mechanische opzet zorgt ervoor dat er nauwelijks vuil ontstaat. De herhaalbaarheid van het proces wordt gegarandeerd door de precisie van de thermostatische regelingen. De instellingen kunnen razendsnel worden aangepast, zodat het proces consequent verloopt.
Waarom dit in de praktijk werkt Bij het drogen van chips en het verwerken van fotoresist heeft men behoefte aan een constante warmtebron, cyclus na cyclus. Infraroodstraaling vermindert de warmtebelasting vergeleken met traditionele hittebronnen. Hierdoor verkorten de verwerkingstijden en neemt de energieverbruik af – zonder dat de kwaliteit van het materiaal wordt geschaad.
Het resultaat is minder herwerkwerk, betere controle over de belangrijkste dimensies van de chips, en een consistente prestatie, zelfs onder 24/7-bedrijfsomstandigheden. Zodra het proces consequent verloopt, hoeft men zich geen zorgen te maken over de kwaliteit van de chips.
Op wat je moet letten Infraroodstraling werkt alleen als er sprake is van een rechtlijnige verbinding tussen de emitter en het substraat. Daarom zijn de toleranties bij de integratie belangrijk. Het systeem heeft een vaste afstand nodig tussen de emitter en het substraat, evenals schone kwartsramen. Elke vorm van vervuiling op de ramen kan leiden tot ongelijkmatige warmteverdeling.
Het is belangrijk om de apparaten goed te aligneren en de ramen regelmatig te onderhouden. Als deze aspecten goed worden beheerd, wordt het proces voorspelbaarder. De thermische parameters kunnen dan worden gereguleerd, in plaats van dat ze een risico vormen.