Di bilik pengeluaran, proses pembakaran bahan fotoresist bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan – ia merupakan syarat penting yang perlu dipenuhi. Biar saya jelaskan dengan lebih jelas: perubahan suhu sebanyak 2°C dalam proses pembakaran akan menyebabkan perbezaan pada dimensi kritikal bahan tersebut. Perbezaan seperti ini tidak akan kekal kecil; ia akan meningkat dengan cepat.
Tubuh gelas kuarsa berkuasa 2700W direka untuk menghapuskan faktor ketidakstabilan suhu tersebut.
Apa yang penting dari segi teknikalnya:
Dengan menggunakan tenaga 2700W, haba yang dihasilkan akan naik dengan cepat dan kekal stabil – tiada masalah berkaitan kelewatan pemanasan. Sinaran inframerah akan mengenai sasaran secara langsung, jadi tiada masa yang terbuang untuk memanaskan persekitaran sekeliling. Ini memastikan suhu tetap stabil.
Gelas kuarsa memberikan kualiti yang tinggi serta pengeluaran gas yang rendah. Selain itu, struktur kaca yang jernih memastikan penghantaran cahaya yang konsisten, sehingga proses radiasi berjalan seperti yang diharapkan. Hasilnya, suhu di kawasan pembakaran akan kekal stabil pada tahap ±0.1°C.
Mengapa ia sesuai untuk proses litografi dan pemprosesan fotoresist:
Dalam proses litografi dan pemprosesan fotoresist, kita tidak boleh memilih antara keseragaman atau kebersihan sahaja – kedua-duanya diperlukan. Tubuh gelas kuarsa ini sesuai digunakan di bilik bersih kelas 1–100, dan ia direka untuk mengelakkan penghasilan zarah-zarah tertentu. Dengan demikian, risiko kehilangan hasil akibat pencemaran semasa proses pembakaran dapat dielakkan.
Tegangan 2700W memendekkan masa pemanasan, mempercepatkan kitaran proses, dan membantu menjaga kestabilan proses dari satu batch ke batch yang lain. Selain itu, kerana haba dihasilkan mengikut keperluan, tenaga tidak akan dibazirkan.
Apa yang perlu diperhatikan semasa pemasangan:
Pemasangan memerlukan perhatian terhadap jarak antara komponen dan penyesuaian reflektor – inilah faktor-faktor yang mempengaruhi tahap keseragaman suhu sebanyak ±0.1°C. Pastikan keserasian soket, cara pemasangan, serta aliran udara sesuai dengan profil termal tubuh gelas kuarsa tersebut. Aliran udara yang tidak sesuai akan menyebabkan perbezaan suhu, dan anda akan menghadapi masalah yang tidak sepatutnya.
Rancangkan penggantian tubuh gelas kuarsa pada waktu yang sesuai. Gelas kuarsa memang tahan lama, tetapi ia tetap akan berusia. Pastikan tubuh gelas kuarsa sesuai dengan proses yang digunakan, agar proses dapat berjalan dengan lancar.