ファブ内で正確な熱マッピングを実現するためには、ウェーハのファブで依然として手動のサンプリングに頼っているのであれば、それはまるで目隠しをした状態で作業しているようなものです。実際に何が起こっているのかをリアルタイムで把握する必要があります。そこで役立つのが高精度な赤外線センサーです。これにより、...

半導体製造用のツール内での熱漏れを防ぐ方法 半導体チャンバーの中にIRランプを設置することには問題があります。物理法則上、エネルギーはあらゆる方向に放出されますが、ワークピースはその空間の中でごくわずかな点に過ぎません。 このエネルギーを制御しなければ、それはただ周囲に乱反射し、装置の内壁を傷つけ...

##はじめに 半導体業界は急速に変化しています。私たちは、鉛の使用をやめ、エネルギー消費を削減するという圧力にさらされています。この現実から、乾燥技術の重要性が高まってきました。正直なところ、赤外線による硬化処理が世界中で最も有効な解決策となっています。 なぜでしょうか？理由は簡単です。溶剤ベース...

ファブフロアにおけるフォトレジストのベイク性能はナノメートル単位と摂氏の差に依存します。ソフトベイクまたはハードベイクでの0.5℃のドリフトはクリティカルディメンションのバイアスをずらし、ライン幅の制御を不可能にし、ロット全体を廃棄する要因となります。トラックやコーター内のIR加熱スタックは電圧変...