Sulla linea di produzione, una variazione di temperatura del 5% durante il processo di “soft bake” del fotorest può influenzare rapidamente le dimensioni critiche dei componenti. Anche lo strato OLED ne risente immediatamente. Il dispositivo di essiccazione deve mantenere una temperatura costante, ripetendo questo processo ciclo dopo ciclo. Abbiamo progettato la nostra lampada per l’essiccazione degli OLED proprio per affrontare questa situazione.
Cosa è importante nel funzionamento della lampada Utilizziamo onde infrarosse a controllo spettrale preciso, in modo che l’energia venga assorbita esclusivamente dal fotorest e dal substrato, senza riscaldare la camera stessa. L’obiettivo è raggiungere una uniformità termica di ±0,1°C a livello del wafer; inoltre, la precisione del controllo della temperatura deve essere elevata. La potenza erogata rimane stabile 24 ore su 24, con un intervallo tra le manutenzioni di oltre 5.000 ore e una variazione dell’intensità inferiore al 5%. La struttura della lampada è compatibile con ambienti di tipo Class 1–100, e non produce particelle, né effetti negativi legati all’emissione di gas o alla formazione di punti caldi.
Perché questa lampada è adatta alla litografia OLED e al trattamento del fotorest Nella litografia OLED è necessario un controllo preciso dei parametri di essiccazione, al fine di mantenere costanti spessore, adesione e qualità dei bordi dei componenti. Questa lampada permette di mantenere i parametri termici entro i limiti richiesti, così da ottenere risultati uniformi e ridurre i cicli di rifinitura. La rapida risposta termica permette di ridurre i tempi di elaborazione, mentre il profilo energetico mirato permette di ridurre il consumo energetico. In questo modo, migliorano i risultati produttivi e diminuiscono le deviazioni legate ai processi di essiccazione.
Cosa aspettarsi quando si utilizza la lampada La lampada è progettata per essere installata su dispositivi di essiccazione esistenti, ma l’integrazione dipende comunque dalla geometria della camera e dal flusso d’aria. È necessario pianificare un periodo di configurazione breve per ottimizzare i parametri in base al tipo di fotorest e al substrato utilizzato. Una volta configurata correttamente, la manutenzione diventa semplice: basta sostituire regolarmente le lampade e mantenere pulite le parti ottiche. In questo modo, il sistema manterrà i parametri desiderati.