Pada proses pembakaran fotoresist, perubahan suhu sebesar 5% saja sudah cukup untuk mengubah dimensi-dimensi kritis komponen tersebut secara signifikan. Hal ini akan langsung terlihat pada lapisan OLED. Mesin pengering harus mampu menjaga suhu pada titik yang ditentukan, dan melakukannya berulang-ulang, shift demi shift. Kami merancang lampu pengering untuk proses produksi OLED sesuai dengan kondisi seperti ini.
Yang penting dalam prosesnya
Kami menggunakan sinar NIR dengan kontrol spektral yang ketat, sehingga energi tersebut hanya sampai ke tempat yang dibutuhkan oleh fotoresist dan substrat, bukannya memanaskan seluruh ruang pengeringan. Tujuannya adalah mencapai tingkat keseragaman suhu di tingkat wafer sebesar ±0,1°C, dengan tingkat repetibilitas yang tinggi. Keluaran energi tetap stabil sepanjang waktu, dengan interval pemeliharaan lebih dari 5.000 jam, dan fluktuasi intensitas energi kurang dari 5%. Desain lampu ini juga cocok digunakan di ruang bersih kelas 1–100, dan tidak menimbulkan partikel debu, tidak ada pelepasan gas, tidak ada kerusakan permukaan, dan tidak ada titik panas.
Mengapa lampu ini cocok untuk proses litografi OLED dan pemrosesan fotoresist
Dalam proses litografi OLED, diperlukan profil pembakaran yang konsisten agar ketebalan lapisan fotoresist, tingkat adhesi, serta penghapusan bekas-bekas pada tepi lapisan tetap terjaga. Lampu ini memastikan bahwa suhu tetap berada dalam batas yang ditentukan, sehingga proses eksposur berjalan secara seragam, sehingga jumlah produk yang harus diperbaiki berkurang. Respon termal yang cepat mempercepat waktu proses, sedangkan profil energi yang terfokus membantu mengurangi konsumsi energi. Dengan demikian, proses produksi menjadi lebih efisien, dan sistem dapat beroperasi tanpa gangguan akibat fluktuasi suhu.
Apa yang bisa diharapkan saat menggunakan lampu ini
Lampu ini dirancang untuk dipasang pada mesin pengering yang sudah ada, tetapi integrasinya masih bergantung pada geometri ruang pengeringan dan arus udara. Rekomendasinya adalah menyediakan waktu singkat untuk menyetel profil lampu sesuai dengan tipe fotoresist dan substrat yang digunakan. Setelah disetel dengan benar, pemeliharaan lampu dapat dilakukan secara rutin. Dengan demikian, sistem akan tetap berfungsi sesuai dengan spesifikasi yang diinginkan.