फोटोरेजिस्ट को नरम तापमान पर सुखाने की प्रक्रिया में 5% का तापमान-परिवर्तन होने से महत्वपूर्ण आयामों में तेजी से परिवर्तन हो जाता है। OLED स्टैक में भी यह परिवर्तन तुरंत ही दिखाई देता है। ड्रायर को निर्धारित तापमान पर ही रहना होता है, एवं ऐसा ही प्रक्रिया बार-बार दोहराया जाना होता है। हमने अपने OLED निर्माण हेतु उपयोग में आने वाले ड्रायर को ठीक इसी उद्देश्य हेतु ही डिज़ाइन किया है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम NIR तकनीक का उपयोग करते हैं, ताकि ऊर्जा केवल फोटोरेजिस्ट एवं सब्सट्रेट द्वारा ही अवशोषित हो, न कि चेम्बर को गर्म करने हेतु। लक्ष्य है कि वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे, एवं निर्धारित तापमान को बार-बार ही बनाए रखा जाए। आउटपुट हमेशा स्थिर रहता है; ऑपरेशन के बीच 5,000+ घंटों तक कोई परिवर्तन नहीं होता, एवं ऊर्जा-आउटपुट में 5% से कम ही परिवर्तन होता है। यह डिज़ाइन क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी उपयोग में आ सकता है; इसमें कोई कण नहीं उत्पन्न होते, न ही कोई गर्म बिंदु बनता है।
यह OLED लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण हेतु क्यों उपयुक्त है?
OLED लिथोग्राफी में, मोटाई, चिपकने की क्षमता एवं किनारों पर जमे हुए पदार्थों को हटाने हेतु सुसंगत तापमान-प्रोफाइल आवश्यक है। यह ड्रायर तापमान को निर्धारित सीमाओं के भीतर ही रखता है; इससे आउटपुट सुसंगत रहता है, एवं पुनर्प्रसंस्करण की आवश्यकता कम हो जाती है। तेज़ तापमान-प्रतिक्रिया से प्रक्रिया-समय कम हो जाता है, एवं केंद्रित ऊर्जा-प्रोफाइल से ऊर्जा-खपत भी कम हो जाती है। इससे उत्पादन-दक्षता में सुधार होता है, एवं प्रक्रिया में कम व्यवधान होते हैं।
इसे उपयोग में लाने पर क्या उम्मीद की जा सकती है?
यह ड्रायर मौजूदा ड्रायरों में भी उपयोग में लाया जा सकता है; लेकिन इसका एकीकरण चेम्बर की ज्यामिति एवं हवा-प्रवाह पर निर्भर है। अपने फोटोरेजिस्ट/सब्सट्रेट सेटअप हेतु इसकी सेटिंगों को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है। एक बार सब कुछ सही हो जाने के बाद, रखरखाव आसान हो जाता है – निर्धारित समय पर ही ड्रायरों को बदलना होता है, ऑप्टिक्स को साफ रखना होता है… ऐसे में सिस्टम आपकी आवश्यकताओं को पूरा करेगा।