शेड्स को रोकें: आईआर क्यूअरिंग के दौरान अपने वेफरों को स्वच्छ रखें
यदि आपने कभी वेफर निर्माण प्रक्रिया के दौरान लैंप टूटने की समस्या का सामना किया है, तो आप जानते ही होंगे कि यह कितनी बुरी स्थिति होती है। ऐसी स्थिति में न केवल मशीन बंद हो जाती है, बल्कि इसके कारण बहुत ही अव्यवस्था फैल जाती है।
जब क्वार्ट्ज ट्यूब भारी भार के कारण टूट जाती है, तो इसके कारण काँच के टुकड़े एवं धातु के टुकड़े सिलिकॉन पर गिरने लगते हैं। ऐसी स्थिति में पूरे बैच को नष्ट करना ही पड़ता है। यह बहुत ही महंगा एवं निराशाजनक है… लेकिन इससे बचा जा सकता है।
ट्यूबें आखिर क्यों टूट जाती हैं?
ज्यादातर मामलों में, ऐसा थर्मल शॉक या अन्य कारणों से होता है। इस समस्या से बचने हेतु हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं। ऐसे क्वार्ट्ज में विस्तार/संकुचन बहुत कम होता है; इसलिए यह तेज गर्मी/ठंड को सह सकता है, एवं इसमें कोई छोटी-मोटी दरारें नहीं बनतीं।
लेकिन हम केवल काँच पर ही भरोसा नहीं करते… हम “शैडर-शील्ड” भी उपयोग में लाते हैं… यह एक सुरक्षात्मक आवरण है, जो टूटे हुए काँच/धातु के टुकड़ों को रोकता है। इससे आपके वेफर स्वच्छ रहते हैं, एवं आपका काम भी बिना किसी परेशानी के चलता रहता है।
गर्मी से निपटना
उच्च-वॉटेज वाले लैंप तेज गति से क्यूअरिंग करने में मदद करते हैं… लेकिन ये लैंपों के सीलों पर बहुत ही दबाव डालते हैं। हम ऐसे मजबूत एंड-कैप एवं इलेक्ट्रोडों का उपयोग करते हैं, ताकि गैस बाहर न निकल सके।
एक सलाह: यदि आप अपने लैंपों पर अत्यधिक दबाव डाल रहे हैं, तो अपने कूलिंग सिस्टम की जाँच अवश्य करें… यदि हवा का प्रवाह सही न हो, तो लैंप के छोरों पर गर्मी जमा हो जाती है… और यहीं से लैंप टूट जाता है।
लैंपों की स्थापना
हम कनेक्टरों को मानकीकृत रूप में ही रखते हैं… ताकि वे ठीक से जुड़ सकें। ढीले कनेक्शनों के कारण ही विद्युत धाराएँ बहने लगती हैं… जिससे लैंप के छोर जल जाते हैं। जब आप रैकों को जोड़ रहे हों, तो ध्यान रखें कि सभी कनेक्शनों पर समान दबाव हो।
बेशक, इस सुरक्षात्मक आवरण के कारण लैंप से निकलने वाली आईआर ऊर्जा में थोड़ी कमी आ जाती है… इसकी भरपाई हेतु आपको क्यूअरिंग समय में कुछ सेकंड और जोड़ने होंगे।
लेकिन वास्तव में यह एक उचित समझौता ही है… क्योंकि दूषित क्लीनरूम की स्थिति की तुलना में थोड़े सेकंड की देरी कोई बड़ी बात ही नहीं है।