בקו הייצור, ביצועי אפיית הפוטורזיסט נקבעים בננומטרים ומעלות. סטיית טמפרטורה של 0.5°C באפייה רכה או קשה יכולה להזיז את הסטייה בממד הקריטי, לפגוע בשליטה על רוחב הקווים ולבזבז לוט שלם. מחסנית החימום IR במערכת הטראק או בקואטר אינה סלחנית לשינויים במתח החשמלי — תפוקת הנורה, יציבות ספקטרלית וייצוב תרמי תלויים ישירות באספקת המתח.
מה שחשוב מבחינה טכנית
פיתחנו את מווסת המתח ל-IR במפעל כדי לשמור על עוצמת הנורה בתוך סף סבילות צמוד, כך שתוכל לשמר את תקציב החום עבור כל מעבר וופרים. תחת תנודות בקו, המווסת שומר על יציבות תפוקה של ±0.1%, מה שמאפשר אחידות טמפרטורה ברמת הוופר של ±0.1°C על פני פלטת האפייה. המערכת מותאמת לסביבה נקייה מחלקיקים (Cleanroom) בכיתות 1–100: מבנה אטום וחומרים עם פליטה נמוכה של גזים כדי למנוע יצירת חלקיקים במהלך הפעולה. חזרתיות מושגת באמצעות שליטה בלולאה סגורה ופרופיל מהלך ואחיזה קבוע, כך שכל אפייה רכה או קשה תהיה זהה למנה הקודמת.
מדוע זה אמין בליתוגרפיה
בשלבי אפייה סמוכים לליתוגרפיה, תפוקת IR יציבה מפחיתה את השפעות העור של הפוטורזיסט ומורידה את שימור הממס — התפוקה משתפרת והצורך בתיקונים פוחת. בקרה מדויקת יותר על הטמפרטורה מקצרת את זמן הייצוב ומאזנת את השונות בתוך הלוט, כך שחלון התהליך מתרחב מבלי להעלות את צריכת האנרגיה. המערכת מתוכננת לפעולה רציפה 24/7 במפעל, עם רכיבים המדורגים לשימוש רציף ומחזורי חימום-קירור. נתוני שטח מראים יציבות ממושכת ליותר מ-5,000 שעות, עם סטייה מינימלית בתפוקה.
פרטים מעשיים
התאמה מדויקת היא קריטית. אורך הקשת של הנורה, תחום הספקטרום (גל קצר או גל בינוני) והעומס התרמי חייבים להתאים לדירוג הזרם ולממשק החיבור של המווסת. ההתקנה דורשת קו מבודד מיוחד כדי למנוע לולאות אדמה והפרעות אלקטרומגנטיות מלהשפיע על משוב החיישן. יש לתכנן הרצה קצרה לכיוון פרמטרי ה-PID בהתאם למסת תא האפייה ופרופיל עומס הוופרים.