במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט, שינוי של 5% בטמפרטורה עלול לגרום לשינויים משמעותיים בממדים הקריטיים של החומר – וזה קורה במהירות. ה-OLED יראה זאת מיד. המאוורר חייב להגיע לטמפרטורה הרצויה, לשמור עליה, ולחזור על כך שוב ושוב. עיצבנו את מנורת הייבוש שלנו בדיוק לצורך זה.
מה חשוב בפועל? אנו משתמשים באור באורך גל אינפרא-אדום, תוך שליטה קפדנית בספקטרום האור. כך, האנרגיה נפלטת בדיוק במקומות שבהם הפוטורזיסט והחומר שעליו הוא מונח יכולים לספוג אותה, ולא באזורים שעלולים לגרום לחימום החדר. המטרה היא להשיג אחידות תרמית של ±0.1°C, עם חזרה על אותה טמפרטורה בכל פעם. הפלט נשאר יציב כל הזמן, עם זמן שימוש של 5,000 שעות לפחות, ושינוי בעוצמת האור של פחות מ-5%. המערכת מתאימה לשימוש בחדרי ייצור מסוג Class 1–100, והעיצוב שלה אינו יוצר חלקיקים – אין פליטת גזים, אין קריסה של החומר, ואין נקודות חמות.
למה זה מתאים לתהליכי ליתוגרפיה של OLED ועיבוד פוטורזיסט? בתהליכי ליתוגרפיה של OLED, יש צורך בתהליכי חימום עקביים כדי לשמור על עובי החומר, על יכולת ההידבקות שלו, ועל הסרת החלקיקים שנוצרים בקצוות החומר. מנורה זו שומרת על הטמפרטורה בתוך הטווח הרצוי, כך שהחשיפה לאור נשארת אחידה, ויש פחות צורך בעבודות תיקון. התגובה התרמית המהירה מקצרת את זמן העיבוד, והאנרגיה הממוקדת מפחיתה את צריכת האנרגיה. כך, יש יותר יעילות בתהליך, והמערכת יכולה לעבוד ללא שינויים לא רצויים.
מה לצפות כשמשתמשים במנורה זו? המנורה תוכננה להתאים למאווררים ומערכות קיימות, אך השילוב שלה תלוי עדיין בגאומטריה של החדר ובזרימת האוויר. יש לתכנן זמן קצר לכיול המנורה לפי סוג הפוטורזיסט והחומר שעליו הוא מונח. לאחר הכיול, התחזוקה נעשית בצורה צפויה – יש להחליף את המנורות בזמן הנכון, לשמור על העדשות נקיות, והמערכת תשמור על הערכים הרצויים.