در فرآیند پخت نرم فوتورزیست، تغییر دما در محدوده ۵٪ میتواند باعث تغییرات سریع در ابعاد مهم قطعات شود. الاودی نیز بلافاصله این تغییرات را نشان خواهد داد. دستگاه خشککن باید دمای مورد نظر را حفظ کند و این کار را بارها و بارها تکرار کند. ما لامپ خشککن مورد استفاده در تولید الاودی را دقیقاً برای همین منظور طراحی کردهایم.
آنچه اهمیت دارد: ما از نور مادون قرمز با کنترل طیفی دقیق استفاده میکنیم؛ بنابراین انرژی در جایی تخصیص مییابد که فوتورزیست و سطح قطعه آن را جذب کنند، نه اینکه به گرم کردن محفظه کمک کند. هدف، داشتن یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین، تکرارپذیری دمای مورد نظر نیز بسیار خوب است. خروجی دستگاه در تمام ساعات روز پایدار باقی میماند؛ همچنین، فاصله زمانی بین تعمیرات و کاهش شدت نور کمتر از ۵٪ است. این دستگاه سازگار با محیطهای تمیزسازی شده در کلاسهای ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین، طراحی این دستگاه باعث ایجاد ذرات نمیشود؛ یعنی هیچ گازی از آن خارج نمیشود، هیچ ترکیبی روی سطح قطعه ایجاد نمیشود و نقاط گرمی نیز وجود ندارد.
چرا این دستگاه برای فرآیندهای لیتوگرافی الاودی و پردازش فوتورزیست مناسب است: در فرآیندهای لیتوگرافی الاودی، نیاز به پروفایلهای یکنواخت برای پخت نرم و سخت وجود دارد تا ضخامت قطعات، چسبندگی آنها و حذف نواحی اضافی روی سطح قطعه حفظ شود. این دستگاه باعث میشود که میزان انرژی مصرفی در محدوده مشخصی باقی بماند؛ بنابراین، یکنواختی در فرآیند لیتوگرافی حفظ میشود و نیاز به تعمیرات کمتری وجود دارد. پاسخ سریع دستگاه به تغییرات دما، زمان پردازش را کاهش میدهد؛ همچنین، پروفایل انرژی متمرکز، میزان انرژی مصرفی را کاهش میدهد. این امر باعث بهبود بازدهی تولید و کاهش نوسانات ناشی از فرآیندهای پخت میشود.
آنچه باید انتظار داشته باشید: این دستگاه به گونهای طراحی شده است که بتوان آن را در دستگاههای خشککن موجود نصب کرد؛ اما یکپارچهسازی آن همچنان به الگوی محفظه و جریان هوا بستگی دارد. لازم است فاصله زمانی کوتاهی برای تنظیم پروفایل دستگاه در نظر گرفته شود. پس از تنظیم، نگهداری دستگاه آسان خواهد بود؛ کافی است لامپها را در زمان مشخص تعویض کرده و سیستم را تمیز نگه داریم؛ در این صورت، دستگاه میتواند مقادیر مورد نیاز را حفظ کند.