Bei einer Temperaturschwankung von 5 % während des Weichbrennvorgangs des Photoresists ändern sich die kritischen Abmessungen schnell. Das wird sofort an der OLED-Baueinheit sichtbar. Der Trockner muss daher das vorgegebene Temperaturniveau halten und dieses immer wieder erreichen – Schicht für Schicht. Wir haben unsere Trockenlampe für die OLED-Herstellung genau für diese Anforderungen entwickelt.
Was wirklich wichtig ist
Wir nutzen Infrarotstrahlung mit präziser spektraler Steuerung – dadurch gelangt die Energie genau dorthin, wo der Photoresist und das Substrat sie aufnehmen, anstatt dazu zu dienen, den Behälter zu erhitzen. Ziel ist eine thermische Homogenität auf Wafer-Ebene von ±0,1 °C, wobei auch die Wiederholgenauigkeit des Temperaturniveaus stimmen muss. Die Leistung bleibt rund um die Uhr konstant – zwischen den Wartungsarbeiten vergehen mehr als 5.000 Stunden, und die Intensitätsabweichung liegt unter 5 %. Die Konstruktion ist für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet – es entstehen keine Partikel, es gibt kein Austreten von Gasen, keine Abschürfungen und keine Hotspots.
Warum es sich für die OLED-Lithografie und den Photoresist-Verarbeitungsprozess eignet
Bei der OLED-Lithografie sind konstante Profile für den Weich- und Hartbrennvorgang notwendig, um die Dicke des Materials, die Haftung sowie die Beseitigung von Randverunreinigungen zu gewährleisten. Diese Lampe hält das thermische Profil innerhalb der Spezifikationen – dadurch bleibt die Belichtungskonstanz hoch, und es werden weniger Nacharbeiten nötig. Die schnelle thermische Reaktion verkürzt die Prozesszeit, und das gezielte Energieniveau reduziert den Energieverbrauch. Dadurch wird das Prozessfenster erweitert, die Ausbeute verbessert sich, und der Produktionsprozess verläuft reibungsloser.
Was man erwarten kann, wenn man die Lampe einsetzt
Die Lampe ist so konzipiert, dass sie in bestehende Trockner integriert werden kann. Doch die Integration hängt trotzdem von der Geometrie des Behälters sowie vom Luftstrom ab. Planen Sie einen kurzen Einrichtungszeitraum ein, um das Profil an Ihre spezifischen Anforderungen anzupassen. Sobald alles eingestellt ist, ist die Wartung vorhersehbar – ersetzen Sie die Lampen zum festgelegten Zeitpunkt, halten Sie die Optiken sauber – dann wird das System die benötigten Werte beibehalten.