Korrekte Thermomapping-Daten im Fabrikumfeld
Wenn Sie weiterhin auf manuelle Probenentnahmen in Ihrer Wafer-Fabrik zurückgreifen, arbeiten Sie im Grunde genommen „im Dunkeln“. Sie müssen wissen, was gerade passiert – und das geht nur in Echtzeit. Dafür sind hochpräzise Infrarotsensoren notwendig. Sie ermöglichen es uns, die Oberflächentemperaturen zu messen, ohne den Wafer überhaupt berühren zu müssen.
Es ist die einzige Möglichkeit. Wenn man versucht, einen Wafer während eines Hochtemperaturprozesses zu berühren, riskiert man Kontaminationen oder mechanischen Schaden. Das will niemand.
Die Herausforderungen der Physik
Herkömmliche Thermoelemente eignen sich nicht für 300-mm-Wafer. Sie sind zu langsam und stören außerdem bei der Messung. Unsere Infrarotsysteme funktionieren, indem sie die spezifische elektromagnetische Strahlung, die vom Silizium ausgeht, erfassen. Doch hier kommt das Problem: Man muss mit der Emissivität des Materials umgehen. Das Material verändert sich beim Erwärmen, und dadurch ändern sich auch die Messwerte. Wir investieren viel Zeit darin, unsere Sensoren so zu kalibrieren, dass sie den „Rausch“ von den Ofenwänden ignorieren. Wir wollen den tatsächlichen Zustand des Wafers kennen – nicht die Raumtemperatur.
Die Daten müssen wirklich nützlich sein
Ein Sensor, der einfach nur eine Zahl auf dem Bildschirm anzeigt, ist nicht besonders hilfreich. Wir schließen diese Sensoren direkt an Ihr PLC- oder SCADA-System an. Dadurch entsteht eine Schleife, die sofort reagiert. Wenn der Sensor einen kalten Punkt am Rand des Wafers erkennt, passt das System die Heizelemente innerhalb von Millisekunden an. Plötzlich gibt es keine Vermutungen mehr – man weiß genau, wie es steht.
Die Realität
Präzision kostet etwas. Sie benötigt Platz und hat ihre Eigenarten. Infrarotsensoren brauchen eine klare Sichtlinie. Wenn das Fenster der Kammer durch chemische Dämpfe oder Ablagerungen verunreinigt wird, werden die Messwerte ungenau. Das ist frustrierend – aber es passiert eben. Deshalb braucht man ein gutes Gasreinigungssystem für die Linsen. Halten Sie die Optik sauber. Denn seien wir ehrlich: Der teuerste Sensor der Welt ist nutzlos, wenn er durch ein schmutziges Fenster blicken muss. Dann erhält man nur unsinnige Daten.